Occasion ULVAC Enviro II #293757415 à vendre en France

ULVAC Enviro II est un équipement de graveur/asher conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et de microélectroniques. Il est spécifiquement conçu pour graver et/ou enlever des films minces, ainsi que pour la gravure post-métal. Enviro II utilise la technologie du vide pour faciliter les processus de cendrage et de gravure horizontaux. ULVAC Enviro II a une structure de chambre composée d'une chambre principale et d'une chambre de traitement. La chambre principale et la chambre de traitement sont scellées par un double joint torique. La chambre principale est équipée d'un système de serrure pour faciliter la manipulation des substrats et dispose d'une grande porte pour faciliter la charge et le déchargement des substrats. La chambre de traitement est équipée d'une table à mandrin qui maintient solidement le substrat pendant le traitement. Enviro II est également équipé d'une unité de refroidissement cryogénique qui permet un contrôle précis et précis de la température. Deux réservoirs d'azote liquide à l'intérieur de la chambre facilitent même le refroidissement du substrat lors de la gravure. La machine de refroidissement est réglable et la température de l'azote liquide est facilement réglable. Cela permet aux utilisateurs de maximiser les résultats de gravure. L'outil dispose d'une large gamme de fonctionnalités excitantes conçues pour minimiser les erreurs de gravure transversale et améliorer la précision de gravure. ULVAC Enviro II utilise un débitmètre massique pour mesurer et contrôler avec précision le débit de gaz, la pression et la température pour une gravure précise et uniforme. Il dispose également d'un modèle de focalisation du gaz oscillateur qui permet aux utilisateurs de changer le courant plasmatique de 0-25mV et la largeur de gravure de 10-50um. Ceci permet un meilleur contrôle du procédé et augmente le débit du substrat. En outre, Enviro II a une plaque anti-Bumping qui réduit la génération de particules dues à l'érosion plasmatique. L'équipement dispose également d'un adaptateur de cassette Multi-Wafer qui permet aux utilisateurs de traiter jusqu'à 8 wafers simultanément. Cela permet de réduire le temps de traitement, d'augmenter le débit et d'améliorer la stabilité du processus. ULVAC Enviro II est compatible avec une large gamme de gaz de procédé et a une vitesse de gravure maximale allant jusqu'à 8 μ m/min. Globalement, Enviro II est un système de graveur/asher fiable et flexible capable de réaliser des gravures à haute résolution. Le contrôle précis de la température, le contrôle précis du débit de gaz et sa large gamme de fonctions excitantes permettent aux utilisateurs d'obtenir des résultats optimaux.