Occasion ULVAC Enviro II #9258348 à vendre en France

ULVAC Enviro II est un appareil de gravure et de cendrage à sec de pointe conçu pour améliorer le débit de production de couches minces de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). C'est le système idéal pour graver et soutirer tout substrat à partir de plaquettes semi-conductrices telles que Si, GaSb, InP, SiC et GaN, ainsi que des matériaux non-semi-conducteurs tels que les ferrites, le verre, le quartz et la céramique. La chambre source d'Enviro II est équipée de trois sources de gaz de haute qualité telles que le chlore (Cl2), le trichlorure de bore (BCl3) et le trifluorure de bore (BF3). La chambre source est conçue pour assurer un contrôle de haute précision des concentrations de gaz, étant capable de mesurer précisément jusqu'à 300 sccm de Cl2, fournissant une gravure cohérente et très efficace. La chambre est également équipée de deux bases en acier inoxydable séparées pour faciliter le chargement et le déchargement du porte-plaquettes. ULVAC Enviro II est équipé d'une caractéristique unique et innovante : l'architecture Dual Chamber. Ceci permet à l'utilisateur de graver et/ou de graver simultanément des plaquettes dans la Chambre Source et la Chambre Ashing/Rinçage. Cette capacité permet un traitement plus rapide et une plus grande productivité. Enviro II a également été conçu pour maximiser la sécurité et réduire l'impact environnemental. Il utilise l'unité de refroidissement à paroi unique propriétaire ULVAC, ce qui contribue à assurer que l'équipement reste frais et fonctionne plus efficacement. Cela réduit la consommation d'énergie et rend ULVAC Enviro II plus économe en énergie. Enviro II est également équipé d'un tube de douche pour prévenir la contamination provenant de sources extérieures. La chambre comporte également une nacelle sous la boîte filtrante, qui contient le précurseur de gaz et empêche l'écoulement de gaz lorsqu'il n'est pas utilisé. ULVAC Enviro II est l'outil de gravure et d'ashing idéal pour tout environnement de production. Sa conception avancée et ses caractéristiques maximisent la productivité tout en minimisant les coûts et l'impact environnemental. Avec ses performances élevées et sa facilité d'utilisation, Enviro II est la solution idéale pour toute application de gravure ou d'ashing.