Occasion ULVAC FRE-200E #9244585 à vendre en France

ULVAC FRE-200E est un outil de gravure ionique réactive (RIE) utilisé pour graver une variété de substrats basés sur une gamme de matériaux avec une haute sélectivité et précision. L'unité est capable de traiter des substrats jusqu'à 200mm de diamètre. A l'aide de son alimentation haute fréquence avancée, FRE-200E peut gérer la gravure à des températures de traitement plus larges, comprises entre 0 et 200 ° C En outre, son équipement configurable permet de traiter une variété de substrats semi-conducteurs et de formes de motifs critiques, y compris LIGA, empilements multicouches, procédés à couches minces, MEMS, emballages avancés et panneaux. ULVAC FRE-200E offre également une confiance pour l'utilisateur avec l'uniformité des processus grâce au moniteur 2D et le support de détection de point final. Il est également conçu avec un mécanisme rotatif de plaquette pour assurer une répartition ionique uniforme pour la gravure de précision, permettant un traitement plus lisse de formes complexes. De plus, la caractéristique d'une inductance auxiliaire dédiée aide le concepteur à optimiser le profil de gravure et à réduire la courbure de la charge. La machine dispose d'un système de verrouillage de charge pour un moyen convivial de dépôt sous-jacent et post-gravure. Il est également équipé de la technologie propriétaire ULVAC « Soft Land », un algorithme d'atterrissage unique qui aide à éviter la contamination et permet la programmation et le fonctionnement harmonieux de l'alimentation RF dans différentes conditions de substrat. FRE-200E est également conçu avec les dernières caractéristiques de sécurité telles que l'unité de verrouillage/balisage, la machine d'entretoisement de porte, et l'outil de surveillance de l'eau pour un environnement de fonctionnement sécurisé. Dans l'ensemble, ULVAC FRE-200E est un outil de graveur/asher qui combine précision, efficacité et sécurité pour fournir une gravure fiable même pour les substrats les plus complexes. Son atout configurable, son alimentation électrique RF avancée, son modèle de verrouillage de charge pour les dépôts et sa détection de points finis pour l'uniformité des procédés en font un outil précieux tant pour la recherche que pour les marchés industriels.