Occasion ULVAC NA-8000 #9314090 à vendre en France
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ULVAC NA-8000 est un graveur/asher qui offre un haut niveau de précision et de contrôle pendant le processus de gravure et ashing. Il est largement utilisé pour le traitement d'une grande variété de substrats, y compris les plaquettes de silicium, le verre et les métaux. Cet équipement est doté d'une double chambre, l'une dédiée à la pré-gravure et à la gravure sèche, l'autre à la post-gravure et à la gravure humide, ce qui permet une flexibilité et une efficacité maximales dans le processus de gravure et de cueillette. Le système utilise une unité de contrôle du temps et de la température contrôlée par ordinateur qui détermine la profondeur et la vitesse de gravure souhaitées. Cela permet une gravure et une cendre plus précises avec moins de problèmes de gravure. L'exposition du substrat à un plasma permet d'améliorer les performances de gravure et de cendrage. Le taux de gravure et l'uniformité sont augmentés tandis que la contamination est diminuée. ULVAC NA8000 dispose d'une machine de serrage pour la manutention précise des plaquettes. Ceci est particulièrement utile pour le traitement de substrats fragiles, car il minimise les dommages ou le dégazage. Les plaquettes peuvent également être chargées et déchargées de l'outil sans casser le vide ou exposer l'actif à la contamination de l'environnement extérieur. NA 8000 offre une large gamme de paramètres de processus pour la gravure et le cendrage, tels que la pression, la température et le temps d'exposition. Le modèle dispose également d'une routine d'automatisation qui permet aux utilisateurs de configurer et de gérer plusieurs recettes de gravure/cueillette avec différents paramètres de processus. Cet équipement est compatible avec les formats P-2.5, P-3 et P-4 pour une configuration rapide et une mesure facile. Le NA-800 est équipé d'un étage réglable qui peut être réglé jusqu'à 800x500 mm. Cette étape intégrée permet aux utilisateurs de masquer rapidement et efficacement la zone qui ne sera pas gravée. Le système dispose également d'un générateur de plasma direct et d'une unité de distribution de gaz semi-conducteur intégrée. Ces caractéristiques automatisent le processus de gravure/ashing et permettent également aux utilisateurs de contrôler le débit et la pression du gaz. ULVAC NA 8000 etcher/asher est une unité compacte, précise et facile à utiliser qui est très efficace pour la gravure et la cueillette de petits et grands substrats. Il est capable de graver et d'aspirer une grande variété de matériaux, et il offre la flexibilité et la commodité d'une machine à double chambre avec une routine de processus automatisée. L'étage réglable et le générateur de plasma direct offrent aux utilisateurs un contrôle et une précision accrus pendant le processus de gravure et de cueillette. L'outil est également compatible avec plusieurs formats, ce qui en fait une solution idéale pour le traitement des semi-conducteurs.
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