Occasion ULVAC NE-5000N #293758559 à vendre en France

ULVAC NE-5000N est un équipement de gravure et de cueillette de précision conçu pour offrir des procédés de gravure et de cueillette de précision appropriés utilisés dans la production de composants électroniques et de dispositifs semi-conducteurs. Il offre une fiabilité, une précision, un contrôle de contamination et un débit accrus pour faciliter l'ablation et la gravure sélective. Il est adapté à la production de câblages métalliques multicouches, d'éléments de détection MEMS et de technologies de traitement des plaquettes minces. La capacité de gravure de précision du système permet d'éliminer les matériaux aux niveaux du nanomètre et du micromètre. Il utilise une chambre à ultra-haut vide (UHV) avec une source RF/DC intégrée et deux sources RF amont de haute puissance qui fonctionnent en parallèle pour fournir une large gamme de gravures de plasma. L'unité permet des processus de gravure hautement contrôlés et répétables grâce à son langage avancé (ADL) qui permet un contrôle précis des processus. Il propose également des recettes de gravure précises et des cycles de gravure rapides. La source RF/DC intégrée est capable de graver sélectivement un large éventail de matériaux, y compris des métaux, des polymères et des diélectriques. La source RF/DC fonctionne en mode impulsionnel ou continu, ce qui permet de contrôler davantage le temps et la profondeur de gravure. En outre, la source RF est également capable de processus de gravure plasma de haute puissance, y compris l'anodisation et le nettoyage de divers matériaux. La chambre à vide est équipée d'une unité de traitement multi-utilisateurs, qui facilite la gravure simultanée de plusieurs plaquettes. La machine intègre également une capacité de gravure par canon à ions et faisceau d'ions, permettant une oxydation anodique et une gravure sélective des couches d'aluminium. Il dispose également d'un revêtement de pulvérisation et d'un outil de dépôt de faisceau d'ions pour la gravure et le dépôt de couches minces. Le contrôle de température avancé et la conception de la chambre permettent un contrôle précis et répétable de tous les cycles de processus, y compris le refroidissement des plaquettes, ce qui permet d'optimiser les taux de gravure, l'uniformité et la répétabilité. NE-5000N utilise également un nouvel outil de nettoyage pour prévenir la contamination, ce qui contribue à prolonger la durée de vie et à améliorer la fiabilité des chambres de procédés. Le modèle est conçu pour être très fiable et nécessite un entretien minimal. Son logiciel avancé peut être utilisé pour résoudre une variété de problèmes de processus. ULVAC NE-5000N est également conçu avec des écrans tactiles et des commandes conviviales, ce qui facilite le fonctionnement et le réglage des paramètres.