Occasion ULVAC NE 550 #293758401 à vendre en France

ULVAC NE 550 est une machine de gravure fabriquée par ULVAC Technologies, Inc. Le NE 550 est conçu pour réduire le temps nécessaire à la gravure des tranches de cendres en utilisant une technologie de « procédé sec ». Cette technologie accélère le processus de gravure/ashing en utilisant une combinaison d'une table de retenue, de flux de plasma et de gaz azoté. ULVAC NE 550 est équipé d'un équipement de contrôle informatique et d'une TABLE texturée, ce qui améliore l'adhérence des cendres de gravure sur la surface de la plaquette. Cette table offre également une excellente planéité des plaquettes. La taille de la chambre sur NE 550 est de 40 cm (longueur) x 36 cm (largeur) x 25 cm (hauteur). Cela permet des plaquettes jusqu'à 400 mm de diamètre et des films épais jusqu'à 1 mm. L'ULVAC NE 550 est également équipé d'une fonction de redo et d'auto-alignement, permettant au système d'aligner rapidement la plaquette avant la gravure. Le NE 550 utilise deux sources de plasma, à couplage inductif et résonance électron-cyclotron (ECR), avec une plage de puissance de 10 à 3 000 watts pour une gravure/cueillette précise. La plage de température est comprise entre 100 ° C et 450 ° C, et la vitesse de gravure est de 0,3 μ m/min à 15 μ m/min. ULVAC NE 550 dispose d'une unité de commande automatisée avec des recettes et des paramètres programmables, permettant un fonctionnement convivial. La machine dispose également d'un outil de gaz réactif avancé qui combine l'utilisation d'oxygène, d'azote, de gaz HCl, CF4 et SF6 pour les applications de gravure et de cueillette. Le NE 550 est idéal pour la gravure des métaux et des couches diélectriques sur des plaquettes de silicium. Il est également utilisé dans diverses industries pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs, des cellules solaires et des écrans plats. Il est largement utilisé dans les applications de recherche et développement. ULVAC NE 550 est un actif efficace qui s'est avéré être une solution efficace et fiable pour toute application de gravure/cendres. Sa combinaison de précision, de vitesse et de précision en fait un choix idéal pour fabriquer des composants sophistiqués. C'est une excellente option pour les utilisateurs nécessitant des outils de gravure et d'ashing avancés pour produire des résultats fiables et précis.