Occasion ULVAC NE 550 #9236724 à vendre en France

ULVAC NE 550 est un graveur/asher conçu pour les applications modernes de l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'une chambre unique graveur/cendrier qui peut gérer un large éventail de processus de gravure et de cendrage. Il est équipé d'une technologie unique de gravure d'arc cathodique qui fournit des résultats de gravure parfaits avec pulvérisation contrôlée. Le NE 550 est un outil de haute précision qui permet d'effectuer des processus de gravure et d'ashing à l'échelle atomique avec la plus grande qualité et reproductibilité. Sa source de plasma est une décharge à arc cathodique perfectionnée avec une tension maximale de 4,4 kV et une puissance de 2 kW. Il est capable de traiter des plaquettes de 200 à 500 mm de diamètre et sans endommager l'environnement environnant. Cela élimine la production de matières étrangères et, par conséquent, aucun produit chimique dangereux n'est utilisé pendant les processus de gravure et de cueillette. La chambre à sas est entièrement étanche et utilise une chambre à vide de 1x10 à 6 Torr et une température allant jusqu'à 300 degrés C. Son homogénéité et sa répétabilité rendent le dispositif plus productif, et il offre les plus hautes performances pour les processus de gravure. Le temps de gravure et de cueillette peut être ajusté à l'application spécifique selon le type de matériau et la recette. L'ULVAC NE 550 offre également des fonctionnalités avancées, notamment l'équipement de commande Edge Angle et le système de refroidissement rapide de la chambre. L'unité de commande Edge Angle permet de réduire le temps de gravure en contrôlant l'angle de la source de gravure. Ceci améliore l'homogénéité et la reproductibilité des résultats de gravure, et empêche également l'oxydation du substrat. La machine de refroidissement rapide de la chambre contribue à réduire la stabilité thermique de la plaquette. Cet outil permet de réduire les défauts dus à la variation de température et d'améliorer la qualité des couches gravées. Dans l'ensemble, NE 550 est un outil de gravure avancé qui offre des résultats de gravure supérieurs et une meilleure uniformité et reproductibilité des processus. Il garantit une efficacité maximale du processus et le rendement le plus élevé des dispositifs. C'est un choix parfait pour des applications de gravure à haute précision et à haut débit.