Occasion ULVAC NE 550C #9266611 à vendre en France
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ID: 9266611
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2006
Dry etching system, 6"
Gas: CF4, O2, Ar, N2, He
2006 vintage.
ULVAC NE 550C est un graveur et asher destiné à la réduction de taille et à la définition de motifs sur plaquettes avec une limite supérieure de 8 "de diamètre. La conception et les caractéristiques avancées de l'ULVAC NE-550C permettent des performances de production et une précision supérieures. La technologie ULVAC exclusive de gravure réactive assistée par condensation produit des résultats de haute qualité avec une faible entrée de gravure latérale. La machine utilise un générateur RF haute performance en ligne avec des capacités de gravure d'impulsions intégrées. La gravure des impulsions assure une définition élevée et uniforme des motifs sur les plaquettes et limite toute gravure inutile. NE 550C dispose de la possibilité de basculer entre les processus de gravure et de cendrage, ce qui le rend utile dans un large éventail d'applications. Cette fonctionnalité est idéale pour les clients qui ont besoin de changer de processus fréquemment, permettant une plus grande efficacité et productivité. La machine dispose également d'une manipulation automatique des plaquettes qui démarre le processus de gravure ou de cueillette dès que la plaquette a été placée à l'intérieur de la chambre. L'équipement de contrôle entièrement automatisé, le contrôleur basé sur PC, permet aux utilisateurs d'ajuster les processus de gravure pour répondre aux normes les plus élevées requises. Le logiciel convivial et l'interface utilisateur intuitive permettent un contrôle complet des paramètres tels que la composition du gaz, la pression, le temps de gravure et la température. NE-550C contient un système de vide embarqué qui assure une grande uniformité du plasma dans la chambre de procédé tout en minimisant l'influence du gaz extérieur et de l'air. Une unité de nettoyage automatique des filtres à gaz et une machine automatique de détection des fuites aident à réduire les temps d'arrêt dus à l'entretien des conduites de gaz et assurent un traitement sûr. ULVAC NE 550C est une machine de gravure et de cendrage très efficace idéale pour les applications de traitement des plaquettes. Sa technologie de pointe permet un traitement de haute qualité avec une entrée de gravure latérale basse. La possibilité de basculer entre les processus, la manutention automatique des plaquettes, l'outil à vide embarqué et l'interface utilisateur intuitive garantissent un traitement efficace et sûr, ce qui le rend idéal même pour les applications les plus exigeantes.
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