Occasion ULVAC NE-950EX-V #9298401 à vendre en France
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ID: 9298401
CCP Etcher, 6"-12"
Automated cassette to cassette handling
2015 vintage.
ULVAC NE-950EX-V est un équipement de graveur/asher construit à partir d'une conception modulaire. Il permet la gravure de haute qualité d'un large éventail de matériaux différents, des métaux aux semi-conducteurs. Il est capable de graver/aspirer une variété de différentes tailles de substrats, jusqu'à 250 mm de plaquettes inclus. Le système est équipé d'un capteur pour détecter la taille du substrat afin que les paramètres corrects puissent être appliqués pour chaque processus de gravure. L'unité est également capable de maintenir jusqu'à trois postes de gravure et deux postes de cueillette différents, permettant d'effectuer en une seule fois des opérations de gravure et de cueillette en plusieurs étapes. La caractéristique principale de NE-950EX-V est sa polyvalence. Il dispose d'une machine de commande X-Y-Z- θ à quatre axes, qui permet de positionner et de régler chaque substrat avec précision pour une précision de gravure maximale. L'outil peut également accueillir une variété de gaz de procédé différents et est en mesure de contrôler précisément le débit de chaque gaz. Cela permet d'utiliser différents procédés de gravure et d'ashing pour différentes applications avec un meilleur contrôle des profils de gravure et des performances. L'actif est piloté par une unité de contrôle automatisée, qui est programmable par l'utilisateur pour les opérations de gravure et de cueillette personnalisées. Il est également conçu avec un modèle d'auto-réglage intégré pour des paramètres de processus optimisés, et peut être surveillé et contrôlé à distance. Cela permet un fonctionnement rapide, stable et fiable même lors des changements de processus. L'équipement dispose également de dispositifs de sécurité complets, avec des emboîtements et des éléments de surveillance pour prévenir les opérations non autorisées et potentiellement dangereuses. En conclusion, ULVAC NE-950EX-V est un graveur/asher puissant et capable avec contrôle de précision et automatisation. Avec sa grande flexibilité et ses opérations optimisées, c'est un système idéal pour tous les types d'applications de gravure et d'ashing.
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