Occasion ULVAC NE-950EX #293647319 à vendre en France

Fabricant
ULVAC
Modèle
NE-950EX
ID: 293647319
Dry etcher.
ULVAC NE-950EX est une gravure/asher conçue pour répondre aux exigences de la recherche haut de gamme et des applications industrielles. Cet instrument produit une gravure haute qualité, haute résolution sur les plaquettes, circuits intégrés et autres substrats. Utilisant un faisceau d'électrons étroit, il fournit un taux de gravure élevé, une faible contamination, et une excellente qualité de surface. NE-950EX dispose d'un équipement de contrôle du faisceau radial pour un contrôle supérieur de la profondeur, et dispose d'un canon à électrons à cathode chaude blindée pour améliorer la stabilité et l'uniformité du faisceau. En utilisant le système de mélange de gaz propriétaire ULVAC, l'etcher supporte une grande variété de gaz, y compris le méthane, l'oxygène, l'oxyde nitrique, le gaz azoté, l'argon, et plus encore. En outre, l'unité est équipée d'une composition automatique de gaz et d'une machine de contrôle de débit, ainsi que d'un logiciel de contrôle de processus complet pour une gravure rapide et efficace. Le logiciel permet également à l'utilisateur de définir des paramètres pour chaque processus de gravure, afin d'assurer des résultats cohérents. En outre, ULVAC NE-950EX fournit une chambre à plasma RF scellée, pour minimiser la contamination lors de la gravure. Son outil de chauffage sophistiqué contribue à rendre la gravure plus efficace en augmentant la température de la surface du procédé et en ionisant le gaz pour former un panache d'ions et d'électrons. Ces ions réagissent avec le matériau du substrat, ce qui conduit à un profil de gravure uniforme. L'actif est également équipé d'un modèle de vide intégré automatisé et d'un logiciel complet de surveillance et de diagnostic des équipements. Ce logiciel de surveillance permet à l'utilisateur de surveiller les paramètres du système en temps réel, le débit et la pression du gaz, la température de la chambre et les messages d'erreur. En outre, il offre la capacité d'exporter des données vers une imprimante ou un ordinateur externe pour une analyse plus approfondie et la tenue de registres. Enfin, NE-950EX est conçu pour faciliter le fonctionnement et est offert avec une interface utilisateur intuitive et un contrôleur tactile. Ce graveur/asher offre des résultats de gravure supérieurs, une contamination réduite du substrat, une haute qualité et résolution de surface, et un excellent contrôle de profondeur dans une unité compacte et abordable.
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