Occasion ULVAC NE-950EXk #9204281 à vendre en France

ULVAC NE-950EXk
Fabricant
ULVAC
Modèle
NE-950EXk
ID: 9204281
Taille de la plaquette: 2"-8"
Etcher, 2"-8" Tray not included Main gas: SF6.
ULVAC NE-950EXk Etcher/Asher est un équipement de gravure et de cueillette de haute précision capable de produire des procédés de gravure et de cueillette de haute qualité. Grâce à son système de contrôle de pression de haute précision et à sa technologie de gravure unique ULVAC, NE-950EXk peut produire des films avec des profondeurs de gravure très uniformes et des longueurs de lin étroites. ULVAC NE-950EXk est un graveur/asher qui utilise une série de procédés chimiques et de techniques physiques pour graver ou cacher des matériaux. L'unité comprend un module de gravure à plasma pour le dépôt des masques de gravure et un module de pulvérisation pour le retrait des masques de gravure. La machine dispose également d'un outil intégré de contrôle de pression de haute précision qui peut être utilisé pour la gravure et le cendrage précis. Le procédé de gravure est réalisé à l'aide d'un agent chimique réagissant avec le matériau en phase gazeuse et servant à graver avec précision le film. Le processus de cueillette est effectué avec un comburant qui est utilisé pour graver les matériaux indésirables des surfaces. Ce procédé permet un cendrage précis sans couche résiduelle et une précision supérieure à celle des autres procédés. NE-950EXk actif est également équipé de trois sources de gaz contrôlables de manière indépendante, de capteurs de température et d'un régulateur de débit massique pour permettre une gravure et un ashing précis. En outre, le modèle dispose également d'un équipement de surveillance de la pression de chambre qui permet d'obtenir des résultats précis et répétables sous vide. En plus de la gravure et du cendrage, ULVAC NE-950EXk peut également produire des ions albums, des films déposés par pulvérisation et des films de polymères. De plus, le système polyvalent permet un traitement multicouche des substrats. En résumé, NE-950EXk est une unité de gravure et de cendrage de haute précision capable de produire des résultats de haute qualité avec des profondeurs de gravure larges et des longueurs de lin étroites. L'outil de contrôle de pression de haute précision intégré de la machine et la technologie de gravure unique en font également une excellente solution pour produire des films avec des profondeurs de gravure précises et répétables et des longueurs de lin étroites. Enfin, la polyvalence de l'actif lui permet de produire également des films déposés par pulvérisation, des dépôts de faisceaux d'ions et de multiples couches de substrats.
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