Occasion ULVAC NE-950EXk #9359650 à vendre en France

ULVAC NE-950EXk est un graveur/asher conçu pour la production de composants microélectroniques de haute qualité. Cet équipement utilise une technologie de pointe pour créer des résultats toujours précis et reproductibles avec une contamination minimale. Ce système est un graveur/asher tout-en-un, avec des composants de source et de chambre intégrés, qui sont tous deux modulaires et conçus pour une évolutivité et une flexibilité faciles. Le module source de cette unité est constitué d'une machine de distribution de gaz qui comprend une armoire à gaz et une douche, un générateur RF et un ensemble à filament chaud. L'armoire à gaz et la douche fournissent des quantités précises et reproductibles de gaz de procédé à la chambre de procédé, permettant un contrôle précis des performances du procédé. Le générateur RF fournit la puissance pour les processus de gravure FCCVD, F-CVD et de placage, fournissant un dépôt en phase vapeur contrôlé ou une gravure précisément accordée de plusieurs couches, le générateur RS assure la répétabilité et les performances. Le module HFE (Hot Filament Assembly) est conçu pour les procédés thermiques rapides, offrant un environnement inerte pour l'oxydation thermique, le recuit et d'autres procédés. Le module de chambre de processus de NE-950EXk est conçu pour fournir une excellente uniformité de processus, répétabilité et robustesse. C'est un outil de banc humide intégré équipé d'un système d'échappement d'eau de refroidissement. Cette chambre est conçue pour fonctionner avec une vaste gamme d'applications de processus, y compris gravure ultra haute densité, gravure par pulvérisation, recuit plasma, et gravure RIE/gravure. La chambre est également conçue pour des applications polyvalentes telles que le dépôt de film, le nettoyage de film et la pulvérisation. La précision, la répétabilité et les excellentes performances des processus de gravure et d'asher font d'ULVAC NE-950EXk la solution de procédé idéale pour un large éventail de composants microélectroniques et de processus de production. En plus de la conception très fiable du modèle, ULVAC fournit un certain nombre de services de soutien pour NE-950EXk. Ces services fournissent une aide complète au démarrage, des conseils d'installation, des services de consultation et de dépannage, ainsi que le développement et l'optimisation des processus. Avec ces services, ULVAC NE-950EXk est conçu pour offrir le plus haut niveau de performance sur les marchés des semi-conducteurs et de la microélectronique.