Occasion ULVAC Phoenix #133356 à vendre en France

ULVAC Phoenix est un équipement de gravure/ashing développé par ULVAC Technologies Inc. C'est un outil essentiel pour l'industrie des semi-conducteurs, car il contribue à la réalisation de circuits intégrés modernes. Le système utilise des procédés d'oxydation thermique et de gravure chimique pour former des motifs minuscules à la surface d'un matériau de substrat. Ce processus est essentiel pour créer de petits motifs complexes, jusqu'à la gamme des nanomètres. Il est également utilisé pour créer des circuits à couches minces, et est l'un des équipements de gravure/cendres les plus utilisés dans l'industrie électronique. Phoenix dispose d'une chambre ultra-basse dépression (ULV), avec une source rotative qui alimente le gaz ou les produits chimiques dans la chambre. Les pièces sont chargées dans la chambre sur un robot à 4 axes. Le robot a une grande précision, précision répétable et peut accueillir plusieurs parties de différentes formes et tailles. La machine est capable d'effectuer une gravure à la fois humide et sèche. En gravure humide, un mélange chimique est injecté dans l'enceinte pour créer des motifs désirés à la surface d'un substrat. La gravure à sec utilise un plasma pour obtenir une gravure sélective par un processus de pulvérisation et/ou de bombardement d'ions pour créer des motifs. ULVAC Phoenix prend en charge le chargement des cassettes monobloc et wafer. Il permet à la fois le chargement manuel et automatisé, le déchargement et le transfert vers et depuis la chambre. Une fois à l'intérieur de la chambre, les pièces sont gravées ou cendrées avec une combinaison de haute pression sous vide, de gaz réactifs et de chaleur. En outre, différentes opérations à l'intérieur de la chambre peuvent être effectuées rapidement et efficacement grâce à un temps de cycle rapide et une précision de rotation haute performance. L'outil offre également une excellente fiabilité et répétabilité. Cela garantit une qualité constante du produit, ce qui donne d'excellents rendements et augmente le débit de production. De plus, Phoenix offre une sécurité de pointe dans l'industrie, utilisant de nombreux procédés d'oxydation et de gravure conçus pour éliminer des sous-produits minimes. Dans l'ensemble, ULVAC Phoenix est un excellent atout de gravure et d'ashing qui est idéal pour la production de circuits intégrés de haute qualité et complexes. Il dispose d'une gamme de fonctionnalités qui en font un outil puissant dans n'importe quel environnement de production.