Occasion ULVAC Phoenix #9164102 à vendre en France
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ID: 9164102
Style Vintage: 1998
Etcher
Enviro single chamber
Multiple step RF
Microwave plasma asher
Includes:
BROOKS AUTOMATION MTR-5
BROOKS AUTOMATION Board M/N 001-1951-02 revC3
BROOKS AUTOMATION M/N 001-8200-76
BROOKS AUTOMATION M/N 001-2300-47
ASTEX AX2050 2500 W Microwave power generator
ASTEX AX3032
ASTEX AX3030
ASTEX F120047
ASTEX SA2050TBB
ASTEX S402WG2
ASTEX AX3060
GE FANUC Series 90-30 CPU 341
ENI Automatch M/N MWH-5-01M3
JET Light power supply M/N DC24-8000-30
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1008
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1009
THK-SC6
MKS Vacuum isolation valve M/N LP2-40-AK-CLVS
MKS BARATRON Pressure transducer M/N 122BA-00010AB
Multiple AERA MFCs FC-7700CD
NUPRO Valves
Gateway computer & wonder ware
Spare parts
Multiple support manuals & documentation
Power: 208 V, Cycles 60 Hz, 30 Phase, 60 A, 5 Wires,
1998 vintage.
ULVAC Phoenix est un équipement de gravure/asher développé par ULVAC, Inc. Il est conçu pour la gravure haute vitesse et haute précision et le cendrage de divers substrats. Le système dispose d'une unité de manutention automatique du substrat qui permet une vitesse ultra-élevée, un passage, un contrôle angulaire, sur une large gamme de matériaux. Phoenix utilise un faisceau d'ions pour graver uniformément un substrat, et il a deux composants principaux : la source de gravure/ashing, et l'unité de contrôle. La source est composée d'une source d'ions, d'une machine à mouvement mécanique et d'une série de lentilles pour focaliser le faisceau d'ions. L'unité de contrôle fournit les paramètres nécessaires pour contrôler le processus de gravure, de cendre et de nettoyage. L'unité de contrôle est conçue pour fournir une large gamme de paramètres, permettant à l'utilisateur de programmer les paramètres pour obtenir les résultats souhaités pour divers substrats. Les paramètres programmables comprennent le débit de gaz, la puissance du faisceau source, les angles de gravure et de cendrage et le taux de couche de matériau. Les paramètres réglables offrent la flexibilité pour une grande variété de matériaux et de procédés. De plus, ULVAC Phoenix est conçu pour répondre aux normes internationales de sécurité, y compris la protection antistatique, les panneaux de commande ergonomiques et un outil de sécurité sophistiqué. Phoenix est l'un des graveurs/cendres les plus puissants et les plus fiables disponibles. Il utilise la gravure et le cendrage à grande vitesse, des systèmes de contrôle sensibles et des dispositifs de sécurité avancés pour fournir à l'utilisateur une solution efficace pour la gravure et le cendrage des substrats. En outre, ses capacités de programmation flexibles permettent une large gamme d'applications et de processus, permettant aux utilisateurs d'obtenir des performances optimales pour leurs besoins de gravure/ashing.
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