Occasion ULVAC TDE 300M Custom #9186778 à vendre en France
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ID: 9186778
Style Vintage: 2007
3D Plasma etcher
Substrate load station and carrier:
Wafer substrate cassette
(9) Tubular substrates (Φ1.25mm x 8.5")
Parallel fixed spacing: 0.5”-1”
Helium gas cooling
RF Connection
Load-lock isolation chamber:
Based on BROOKS VCE-2 (For wafer substrate cassette)
Load-lock transfer chamber:
Based on BROOKS VTS-4 (Vacuum transfer system)
Isolation valve (VAT Series) MESC-compatible rectangular valve
Substrate transfer robot (4.5 3-Axis Electro Mechanical Solutions)
Control box for RF plasma:
Power distribution components:
Circuit breakers, relays and PLC modules
RF Power supply:
RF Antenna power supply: 40MHz, 1 kW
Vacuum pumping system:
ULVAC LR-90 Load-lock chamber dry pump:
Dry vacuum pump
Transfer chamber dry pump
Process chamber pump
Turbo molecular pump
Computer control system:
Operator interface
PC Based user interface
Programmable logic controller
GE Series
Real time control system based on PLC
Software:
PLC System control software
Windows based NT or higher OS
DDE Server
Process gas inlet system:
Internal framed gas box
Mass flow controlled gas inlet
(4) Process gas lines
316L Stainless steel plumbing, EP, welded with VCR fittings
In-line filters
With additional process chamber POU filtration
Compressed air system:
Valve actuation and door seating
Cooling system (chiller):
Tubular substrate helium gas
Dry air cooling system
Process chamber:
Chamber size: ~59 liters
Dual plates
Capacity: Coupled plasma
Applications:
3-D Tubular substrate dry etching
Currently crated and warehoused
2007 vintage.
ULVAC TDE 300M Custom est un graveur/asher qui est conçu pour le traitement de matériaux de précision dans une variété d'applications industrielles. Cet équipement est capable d'effectuer la gravure, la cuisson et le frittage sur une gamme de matériaux, et il est conçu pour les opérations par lots et les programmes de processus personnalisés. Le système TDE 300M Custom se compose des chambres de gravure et de cuisson du coeur, des sous-systèmes de transfert de chambre et d'une unité centrale de commande. Il a une conception de chambre à trois étages avec un volume total de chambre de 300L, et est adapté pour les opérations de gravure de chambre et de cuisson. La chambre de gravure a une température maximale de 1500- 1700℃, et le composant de chambre peut atteindre jusqu'à 1600℃in fonctionnement. La chambre de cuisson a une température de capacité de 250 - 500℃, et une température maximale de 500℃ pour la cuisson. La machine ULVAC TDE 300M Custom offre une gamme de caractéristiques pour les opérations de gravure et de cuisson des matériaux de précision. Il dispose d'un outil de contrôle avec un écran LCD de dix pouces qui fournit le contrôle graphique de l'interface utilisateur de toutes les fonctions d'actif, ainsi que des vues de table et de graphe des données de processus historiques pour une analyse facile. Il est également intégré à un microcontrôleur à microprocesseur avec un processeur de signal numérique (DSP) pour une gestion rapide et précise de la température. Le modèle comprend également des dispositifs de sécurité intégrés tels que la protection contre la surchauffe, l'arrêt de suralimentation et un minuteur de sécurité automatique pour assurer la sécurité pendant les opérations. TDE 300M Custom est équipé d'une variété d'accessoires pour améliorer les performances de l'équipement. Il s'agit notamment de boucles de refroidissement de l'eau, de capteurs de température, d'un thermocouple d'échantillon, de transducteurs de pression, d'une plaque de poussée sous vide, de minuteries numériques programmables, d'une chambre à vide, d'un ensemble de filtres, d'une pompe moléculaire turbo et d'une source d'ions. ULVAC TDE 300M Custom est un puissant système de gravure et de cuisson qui offre des performances et une précision optimales pour une variété d'applications industrielles. Il est conçu pour répondre aux besoins spécifiques des fabricants, et ses caractéristiques avancées et ses accessoires fournissent des performances fiables et fiables, même dans les conditions les plus exigeantes.
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