Occasion ULVAC Ulvac W200T #184763 à vendre en France

ULVAC Ulvac W200T est un graveur/asher à film sec conçu pour diverses applications de gravure précises. L'appareil se compose d'une chambre de procédé, d'un étage de substrat, d'un équipement de contrôle des gaz, d'un système à vide, d'une unité de contrôle de l'alimentation électrique, d'une machine d'échappement et d'un panneau de commande. La chambre de procédé est configurée horizontalement avec des fenêtres pour l'observation du processus de gravure, permettant ainsi un contrôle précis des paramètres de gravure. La chambre à quartz est équipée de brides pour l'alignement et le chargement précis des substrats traités. L'étage de substrat est un étage linéaire horizontal X-Y-R avec précision d'arrêt et de répétition pour une charge rapide et un alignement précis du positionnement du substrat. L'étage contient également un outil d'alignement optique inertiel et une fixation de substrat tournant pour le traitement de substrats circulaires. L'actif de contrôle du gaz est un modèle entièrement automatisé avec une lecture numérique pour un contrôle précis du gaz des processus de gravure. Le contrôle du gaz est constitué de deux conduites de gaz, l'une pour gaz de trempe et l'autre pour le traitement du gaz auxiliaire, toutes deux régulées en flux uniforme. L'équipement sous vide comprend une pompe turbomoléculaire à vide élevé et une pompe mécanique à détente rapide. La turbo-pompe permet aux chambres de processus d'atteindre des pressions de 10-6 à 10-8 Torr, tandis que la pompe mécanique est conçue pour fournir des pressions de 200 à 500 mTorr. Le système de commande d'alimentation est réglable et fournit la puissance et le contrôle précis requis pour graver une variété de circuits. L'unité d'échappement est un VHF filtré RF, qui assure des vitesses de gravure maximales et une diffusion minimale. Le panneau de commande fournit une machine informatique intégrée et des boutons de commande placés ergonomiquement pour un contrôle facile et précis du processus de gravure. L'outil est également équipé d'une ressource d'eau de refroidissement embarquée pour améliorer les vitesses de gravure et également pour maintenir la température et l'atmosphère de gravure sous contrôle. Ulvac W200T est capable de graver et de déposer avec précision une variété de matériaux de SiO2, SiNx, SiOC, Polyimide et COC dans les métaux, le diamant comme le carbone (DLC) et les nanotubes de carbone. L'etcher est idéal pour une variété d'applications, y compris, mais sans s'y limiter, les matériaux, dispositifs et circuits microélectroniques.