Occasion ULVAC UNA-2000N #9055149 à vendre en France
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ID: 9055149
Ashing system
Cassette to cassette
Loadlock
Power supply: Microwave 600 - 1000W, 2450MHz +/- 50MHz
High frequency: 200W, 13.56MHz
1992 vintage.
ULVAC UNA-2000N est un graveur/asher sec de précision qui est conçu pour une multitude d'applications industrielles. Cette machine est équipée d'une lentille de focalisation de haute précision et d'un masque à couches minces multi-étages à grande vitesse. Il est capable de graver des films monocouches d'une épaisseur maximale de 2 microns, ainsi que des films multicouches d'une épaisseur maximale de 10 microns. Sa large gamme de paramètres de fonctionnement permet des processus de gravure précis, reproductibles et peu coûteux. UNA-2000N est équipé d'une source d'énergie 2000-Watt RF qui lui permet de produire des vitesses de gravure élevées et une excellente précision dans le processus de gravure. Il est également équipé d'un gabarit souvent réglable, permettant de configurer la machine pour différentes tailles de travail de gravure. De plus, sa chambre à plasma à basse température et son fonctionnement à basse pression aident à minimiser la production de particules et la contamination des films. ULVAC UNA-2000N a une température limite supérieure de 600 degrés Celsius, ce qui le rend adapté aux matériaux sensibles à la chaleur, notamment le verre, la céramique, le céramique, le carbone et les polymères. Ses fonctions d'enlèvement et de nettoyage in situ sont idéales pour les processus de gravure les plus complexes. En outre, son système de gaz intégré permet une grande variété de gaz, offrant une plus grande flexibilité de gravure. UNA-2000N est équipé d'une gamme de caractéristiques de sécurité pour des performances fiables et une durabilité à long terme. Son système dynamique de régulation de la température assure une répartition régulière de la chaleur et une température constante, tandis que le volet de protection de la chambre empêche la contamination d'entrer dans la chambre. De plus, son moniteur intégré assure une surveillance précise des données du processus et des alarmes du système, ce qui aide à prévenir tout événement imprévu pendant le processus de gravure. Ce graveur/asher de précision est adapté à un large éventail d'applications industrielles, qui comprennent le traitement de dispositifs semi-conducteurs, l'emballage au niveau des plaquettes, et la gravure de micro-composants. Ses caractéristiques avancées, associées à ses performances exceptionnelles, en font un choix idéal pour les environnements de salle blanche. ULVAC UNA-2000N est le choix idéal pour la gravure précise et l'ashing dans différents environnements industriels.
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