Occasion UNAXIS / NEXTRAL 100 #9258327 à vendre en France
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ID: 9258327
Style Vintage: 1999
System
TC120
DE60
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2033 C2 Motor
With FOMBLIN 113 Fluid
Power supply: 3 Phase, 400 VAC
1999 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL 100 est un aspirateur polyvalent idéal pour une gamme d'applications. Il est bien adapté à la création de microstructures haute définition, ainsi que de photorésists à couches minces. Le graveur/asher est facile à utiliser et peut être fiable, même dans des conditions de fonctionnement rudes. Il est également économe en énergie et conforme au MSL, ce qui le rend bien adapté à divers processus et environnements industriels. Le dispositif dispose d'un mandrin électrostatique sans contact qui aide à améliorer le rendement de gravure. Ce mandrin empêche également le matériau cible de coller sur la surface de travail et assure une surface de gravure plus régulière. Le mandrin empêche également la formation d'ondulations de surface et de particules, ce qui peut conduire à une instabilité microstructurale ou à une mauvaise résolution des bords. L'UNAXIS 100 est également équipé d'une source d'ions Backside (BSI) qui contient jusqu'à quatre émetteurs indépendants pour faciliter les processus multi-implantations. Les substrats optimisés par le BSI peuvent être placés dans des configurations à chambre unique ou multiple pour faciliter la gravure et la cueillette de microstructures complexes. La fonction BSI permet également d'assurer des processus uniformes et reproductibles. Le dispositif est également optimisé pour des délais de traitement rapides. Ceci est facilité par le temps de réponse rapide du BSI, ainsi que par l'uniformité de la gravure plasma. De plus, le graveur/asher est équipé d'un régulateur de débit massique configurable embarqué pour des paramètres de processus précis et optimisés. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser les réglages pour différents matériaux, tels que les polymères, le silicium, le verre et d'autres types de substrats. Enfin, NEXTRAL 100 est également équipé d'un écran tactile complet et d'un menu multilingue pour la manipulation et le contrôle des données. Cela permet une lecture facile des résultats du processus en temps réel, ainsi que des ajustements du processus à la volée. En conclusion, 100 graveur/asher est un appareil efficace et fiable qui est bien adapté à une gamme d'applications de gravure. Avec son efficacité énergétique et ses caractéristiques programmables, il est idéal pour les paramètres industriels ou de laboratoire.
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