Occasion UVOCS T10X101/0ESIE #293593213 à vendre en France

UVOCS T10X101/0ESIE est un graveur et asher haute performance adapté à une gamme d'applications. Il s'agit d'un équipement par lots avec une conception avancée de la chambre de poutre d'aiguille capable de recevoir jusqu'à 10 200 mm de plaquettes d'échantillon pour la gravure et jusqu'à 300 mm de plaquettes d'échantillon pour l'ashing. Le modèle T10X101/0ESIE comprend également une chambre LPCVD qui peut être utilisée pour le dépôt de films. La chambre du modèle T10X101/0ESIE est conçue pour assurer un débit de gaz optimal le long de l'axe et sur l'échantillon. Il dispose d'un système de chauffage par conduction thermique à 7 zones avec boucle et régulation entièrement fermées, de chauffages infrarouges pour le chauffage des substrats, de deux chambres secondaires pour la stabilisation des paramètres du processus et d'un bolomètre planaire Helios pour la détermination du point de fin de gravure en temps réel. En outre, l'unité est équipée d'une machine de contrôle thermique avancée offrant des conditions de traitement uniformes le long du diamètre complet de la plaquette. Le T10X101/0ESIE etcher et asher utilise un outil intégré de contrôle des processus (IPCS) avec des interfaces utilisateur intuitives tactiles avancées. Cela permet aux utilisateurs de configurer facilement les paramètres d'actifs nécessaires à la gravure et au cendrage. En outre, il dispose d'un programme Auto-Etch, qui permet l'optimisation automatique de la recette de gravure, ainsi que jusqu'à 10 décimales pour la précision du taux de gravure. Le modèle permet également des paramètres de recette variables en fonction du matériau à graver ou à graver. En outre, l'équipement T10X101/0ESIE est équipé de l'admission des gaz de procédé et le contrôle complet des gaz d'échappement, l'éclairage laser et le système de placement simple pour la commodité et la sécurité de l'utilisateur. Le modèle est capable d'atteindre des taux de gravure et de cendrage élevés tout en minimisant les dommages de surface et autres artefacts de processus. Finalement, UVOCS T10X101/0ESIE etcher and asher offre une solution haute performance et fiable pour un certain nombre de processus de gravure et ashing. Ses contrôles de précision, sa conception avancée des chambres et son interface intuitive en font une option attrayante pour les laboratoires de recherche et développement, ainsi que pour les applications industrielles.