Occasion VEECO Microetch LL250 #59880 à vendre en France
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ID: 59880
Automatic loadlock ion mill, 4"
Optical / Fiber optic system for endpoint detection
Square substrates:
Can be modified to accept 4" round substrates
System used to mill:
Platinum
Titanium
Nickel
Copper
Nichrome thin film metals
Anisotropic etching includes:
Au, Cu, Ni, Cr, and TiW
Multistep etch processes for stacked layers (MLC, MCM):
Ceramics
Hybrids
Thin film heads
Flat panel displays
High frequency devices
Process flexibility with IBE, RIBE, CAIBE, flowcool substrate cooling
Rotation and tilting options configured
Pumping system includes:
Mechanical pump and turbo pump for main chamber
Mechanical pump and turbo pump for load lock / Transfer chamber
Spare parts:
Magnetic sensor
Shutter gear assembly
Shutter worm gear
Molly screws for source
Tungsten source wire
Tungsten neutralizer wire
Assorted insulators
Assorted O-rings
Fixturing plates, 4"
PC:
Comark
Model: 4000 Series
INTEL 486i
1994 vintage.
VEECO LL 250 est un équipement de fraisage ionique utilisé pour la fabrication de nanostructures. C'est l'outil parfait pour la production de surfaces nanostructurées de haute qualité, notamment pour les applications dans les industries de l'électronique et de l'opto-électronique. Ce système repose sur des faisceaux ioniques focalisés pour obtenir une qualité de surface supérieure et dispose d'une chambre d'ablation avancée avec un design ergonomique. VEECO Microetch LL250 est une unité programmable sur le terrain qui permet de personnaliser les paramètres de fraisage. Il dispose d'une large gamme d'énergies de faisceau, de longueurs d'impulsions et de pressions de gaz. La gamme complète de la tension de faisceau peut être ajustée pour adapter les fonctions de fraisage pour différents substrats et matériaux. La machine offre également un diagnostic avancé du faisceau d'ions et une surveillance des systèmes, y compris des commandes de courant et d'énergie du faisceau d'ions. LL 250 dispose d'une colonne de faisceau d'ions quadrupolaire qui permet une large gamme d'énergies de faisceau (électrons). Cela permet une plus grande flexibilité et personnalisation des profils de fraisage. La flexibilité de l'énergie et de la longueur d'impulsion rend Microetch LL250 adapté à diverses étapes de gravure ionique, telles que les matériaux pour MEMS, la bio-microfluidique et les composants optiques. En outre, VEECO LL 250 dispose d'un étage d'imagerie haute résolution qui permet un alignement et une orientation précis du substrat. Ceci est essentiel pour garantir un processus cohérent sur toute la taille de la plaquette. Ses modèles de capture d'image et de correction de la dérive permettent également d'importantes économies de coûts de développement et améliorent les temps de cycle. VEECO Microetch LL250 intègre également une fonction de mise en forme dynamique des faisceaux pour minimiser les profils ioniques non uniformes ou déformés qui peuvent être causés par des énergies ou des espacements de faisceaux inégaux. Cette mise en forme dynamique du faisceau assure la meilleure qualité de gravure et de processus pour une large gamme de substrats et de matériaux. Le LL 250 offre également des niveaux de bruit extrêmement bas pendant son fonctionnement. Ceci est important pour les opérations en salle blanche et pour les appareils équipés de composants électroniques sensibles. Il comprend également des accessoires facultatifs pour réduire davantage les niveaux de bruit. Dans l'ensemble, Microetch LL250 est un outil polyvalent et performant de fraisage ionique parfait pour réaliser des nanostructures avec de grandes finitions de surface. Son large éventail de fonctions, de caractéristiques et de performances le rendent idéal pour la production de surfaces nanostructurées dans les secteurs de l'électronique, de l'opto-électronique et des MEMS.
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