Occasion VEECO Microetch LL250 #9100793 à vendre en France

ID: 9100793
Taille de la plaquette: 4"-6"
Ion beam etchers, 4"-6" Pumps included.
VEECO Microetch LL250 est un graveur/asher avancé conçu pour la gravure de matériaux et l'ashing dans les applications semi-conductrices et MEMS/NEMS. Il dispose d'une configuration en libre accès qui permet un chargement et un déchargement plus rapides des substrats, ainsi que des contrôleurs intégrés, des paramètres de recette pilotés par le logiciel et une interface tactile pour la programmation intuitive. Il fournit également un large éventail de paramètres de processus et de capacités pour répondre aux exigences de diverses applications. VEECO LL 250 abrite une chambre de procédé thermiquement contrôlée avec isolation céramique, conçue pour assurer un chauffage et un refroidissement uniformes pour des résultats plus cohérents. Il est équipé d'un scanner x-y qui assure un positionnement précis du substrat, tandis que la buse à micro-soupape de précision assure une production à grande vitesse et une sélectivité et une uniformité supérieures. De plus, l'unité comprend un système in situ qui permet la surveillance et le contrôle en temps réel des conditions de processus critiques. Le MICROETCH LL 250 est alimenté par un système de contrôle multiprocesseur haute performance qui offre un contrôle précis et répétable des processus. Il offre une gestion avancée de l'alimentation et des diagnostics pour garantir des résultats cohérents et reproductibles, ainsi qu'un moniteur d'étalonnage automatique qui réduit le temps de maintenance. En outre, l'unité comprend un certain nombre de fonctions de diagnostic et de maintenance préventive pour aider à maintenir la performance au fil du temps. En outre, VEECO MICROETCH LL 250 dispose d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Cela comprend la protection contre les températures excessives, la gestion des réactifs et l'arrêt automatique des gaz pour éviter les fuites de gaz en cas de défaillance du procédé. En outre, l'unité est équipée d'un blindage physique sécurisé, ainsi que de capteurs optiques et de gaz conçus pour détecter et protéger contre les concentrations inflammables de gaz. Le LL 250 est idéal pour les processus de gravure et de cueillette de haute précision. Il offre une large gamme de capacités de processus, un contrôle intuitif et des performances fiables, ce qui en fait une excellente solution pour les opérations de gravure et d'ashing dans les applications semi-conductrices et MEMS/NEMS.
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