Occasion YOKOGAWA Rainbow 4420 #9111383 à vendre en France

YOKOGAWA Rainbow 4420 est un équipement de gravure et d'ashing très efficace qui est largement utilisé dans les processus de microélectronique et d'ingénierie de précision. Ce système a la capacité d'effectuer une variété de processus de gravure et de cueillette, y compris la gravure plasma, la gravure sèche, la gravure humide, la cueillette sèche, ainsi que la gravure et la cueillette à base de chlore. L'unité dispose d'une large gamme de fonctions programmables qui permettent aux utilisateurs de contrôler avec précision le processus de gravure et de cueillette. Rainbow 4420 est équipé d'une chambre de gravure à facettes pulsées qui le rend capable d'effectuer une variété de processus de gravure et d'ashing. Cette chambre utilise des oscillations haute fréquence et basse fréquence pour maintenir un environnement de gravure stable et réduire la génération de sous-produits gazeux corrosifs. La chambre de gravure à facettes pulsées comprend également un outil de bande intégré conçu pour l'enlèvement facile des matériaux métalliques et non métalliques tels que le Ta, le titane et le silicium de la zone de gravure. Arc-en-ciel d'YOKOGAWA 4 420 traits une chambre matérielle SUS316SS unique pour la gravure à l'eau forte de plasma. Ce matériau est connu pour ses excellentes propriétés de résistance thermique et chimique. Le matériau SUS316SS peut protéger efficacement la pièce contre les résidus chimiques ou les impuretés générés au cours du processus de gravure. La surface interne de la chambre est résistante à la corrosion et conçue pour tous les types de processus de gravure et de cendrage. L'arc-en-ciel 4420 dispose également d'une plaque chauffante de substrat qui peut être utilisée pour chauffer le substrat avant et après les processus de gravure ou de cueillette. La température du substrat peut être contrôlée avec précision par une machine de chauffage thermostatée. Cet outil peut atteindre des températures allant jusqu'à 600 ° C et est idéal pour des tâches telles que la CVD/ALD, les procédés de séparation et la gravure d'oxyde ou de nitrure. De plus, YOKOGAWA Rainbow 4420 comprend une fonction Semi-Auto Process Stop-Down qui peut être utilisée pour arrêter le processus de gravure ou d'ashing après un temps prédéterminé. Cette fonctionnalité permet d'assurer une opération de gravure sûre et efficace tout en évitant les effets secondaires indésirables. Rainbow 4420 dispose également d'un actif de contrôle de processus avancé (APCS) qui comprend une suite de composants logiciels conçus pour fournir une performance maximale. Ce modèle comprend des composants tels que le contrôle du point d'extrémité, le contrôle du débit, le contrôle de l'angle de retenue et le contrôle de l'angle de coupe de bande, qui offre aux utilisateurs la possibilité de programmer avec précision les tâches de gravure et d'ashing. YOKOGAWA Rainbow 4420 est une solution de gravure et de cendrage hautement fiable et efficace qui convient à diverses opérations d'ingénierie de précision et de microélectronique. Cet équipement offre une multitude de fonctions programmables qui permettent aux utilisateurs de contrôler et de surveiller avec précision les tâches de gravure et de cueillette.