Occasion AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E #9059480 à vendre en France
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ID: 9059480
Taille de la plaquette: 2 to 6
Style Vintage: 2011
Metal evaporator, 2"-6"
Includes:
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) manufacturing process with optimum reliability
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min
2011 vintage.
L'évaporateur AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600E est un évaporateur très efficace et fiable conçu pour fournir des performances thermiques supérieures dans une variété d'applications commerciales et industrielles. Cet évaporateur est conçu et fabriqué pour répondre aux normes les plus élevées en matière de sécurité, de durabilité et d'efficacité. L'évaporateur AST Peva-600E est équipé d'un système de boucle fermée hermétiquement fermé qui permet la circulation de l'eau sans introduire de pertes évaporatives significatives. L'évaporateur utilise une technologie avancée MicroComputer-Controlled (MC-C), qui aide à surveiller et à réguler le fonctionnement et la température de l'évaporateur. Cela permet d'améliorer les performances de l'unité et assure sa sécurité et sa fiabilité. De plus, l'unité est conçue avec une machine de ravitaillement automatique en eau qui aide à éviter toute surcapacité inutile à l'évaporateur. ADVANCED Tool TECHNOLOGY Peva-600E l'évaporateur est capable de fonctionner sur une variété de sources d'énergie, y compris le gaz, l'électricité et la vapeur. Cela permet aux utilisateurs de choisir la façon la plus rentable et la plus efficace de faire fonctionner l'évaporateur. En ce qui concerne l'efficacité énergétique, Peva-600E Evaporator est évalué à un rapport d'efficacité énergétique (EER) de 14,3. Cela le rend parfait pour les applications avec des exigences modérées à lourdes et contribue à maximiser les économies d'énergie. Les vitesses de transfert de chaleur accrues de l'évaporateur le rendent très efficace par rapport à d'autres évaporateurs de capacité similaire. De plus, il est capable de produire des baisses de pression, un contrôle précis de la température et une meilleure efficacité de refroidissement. L'évaporateur AST/ADVANCED Asset TECHNOLOGY Peva-600E est conçu avec un boîtier thermodynamique de haute qualité à base d'aluminium qui contribue à assurer la durabilité et la longévité. Cela lui permet d'avoir des environnements opérationnels difficiles et contribue à assurer la sécurité de l'unité. De plus, ce boîtier résistant à la corrosion lui permet d'offrir des performances fiables et de maintenir des niveaux de température optimaux pendant de longues périodes. AST Peva-600E Evaporator est également conçu avec un modèle auto-diagnostique intégré qui aide à surveiller ses performances et détecte les problèmes éventuels avec l'évaporateur. Cet équipement va automatiquement alerter les utilisateurs de tout dysfonctionnement ou d'autres problèmes avec l'évaporateur, permettant aux utilisateurs de prendre des mesures correctives et de maintenir le système en bon état de fonctionnement. En outre, l'unité est également équipée d'une machine d'arrêt d'urgence qui s'activera si nécessaire. Dans l'ensemble, ADVANCED Tool TECHNOLOGY Peva-600E Evaporator est un choix idéal pour tout environnement commercial ou industriel à la recherche d'un évaporateur efficace et efficient. Sa technologie de pointe, son fonctionnement efficace et ses caractéristiques de sécurité intégrées en font un choix fiable et fiable. En outre, son design compact et son boîtier résistant à la corrosion le rendent parfait pour tout environnement où l'espace peut être limité.
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