Occasion DENTON VACUUM Explorer 14 #293774927 à vendre en France
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ID: 293774927
Sputtering system
Deposition chamber:
Chamber and control cabinet
304L Stainless steel chamber (14" wide x 18" tall)
Substrate size capability: 100 mm Ø
Magnetron capability: Up to 3" target diameter
Internal chamber deposition shield
Deposition chamber pumping:
Turbo pump and controller range: 620 l/s
EDWARDS XDS10 Dry scroll pump
High vacuum
3-Position gate valve
Vacuum gauging and process gas control:
Pirani/Bayard-Alpert gauge transmitter/Bayard-Alpert gauge transmitter
Ceramic capacitance manometer: 1 TORR FS
(2) Mass flow controller (Ar and N2)
MKS Controller
Sputter sources:
(3) 2.0" Diameter, internal "stalk-mounts"
(3) Flex type, planar magnetron sputter sources
Direct cooled for Ti
(3) Independent electro-pneumatic cathode shutters
Control and automation:
Color touch panel control and graphical status display
Multimode capabilities: Auto pump, auto vent, manual, automatic
Substrate stage: RF Bias
DVI RF Bias, 100 mm substrate stage assembly
RPM: 0-20
Sputter power supplies:
DC Power supply: 1 kW
RF Power supply: 300 Watt
DC Switch A/B select.
DENTON VACUUM Explorer 14 est un équipement avancé de dépôt de couches minces communément appelé évaporateur. Cet instrument de pointe est conçu pour créer des couches minces de divers matériaux par le processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD) dans un environnement à vide élevé. Explorer 14 est fabriqué par DENTON VACUUM, un fournisseur leader d'équipements de dépôt en couches minces connus pour ses technologies innovantes et ses performances supérieures. DENTON VACUUM Explorer 14 est équipé d'un large éventail de fonctionnalités et de capacités qui le rendent idéal pour la recherche et les applications industrielles dans des domaines tels que la microélectronique, l'optique et la science des matériaux. Le système est conçu pour un contrôle précis et l'uniformité des dépôts de couches minces, permettant aux chercheurs et aux ingénieurs de réaliser des films de haute qualité avec une excellente adhérence et une épaisseur uniforme. L'une des principales caractéristiques de l'explorateur 14 est ses sources de dépôt polyvalentes, qui comprennent des sources résistives d'évaporation thermique, des sources d'évaporation du faisceau d'électrons et des sources de pulvérisation. Ces sources permettent aux utilisateurs de déposer une grande variété de matériaux, notamment des métaux, des oxydes et des nitrures, avec un contrôle exceptionnel des taux de dépôt et des propriétés des films. L'unité est également compatible avec de multiples tailles et formes de substrat, ce qui la rend adaptée à un large éventail de types d'échantillons et d'applications. DENTON VACUUM Explorer 14 est équipé de systèmes avancés de pompage sous vide et de contrôle de pression pour créer et maintenir les conditions de vide élevé nécessaires pour le dépôt de couches minces. La machine comprend une pompe turbomoléculaire à grande vitesse et une pompe à rouleaux secs, qui travaillent ensemble pour atteindre et maintenir une pression de base dans la gamme d'ultra-haute dépression. Le contrôle précis de la pression est facilité par un outil sophistiqué de contrôle du débit de gaz qui permet aux utilisateurs d'ajuster les débits et la composition du gaz pendant le processus de dépôt. L'explorateur 14 dispose d'une interface conviviale et d'un outil de contrôle logiciel qui permettent un fonctionnement et une surveillance faciles du processus de dépôt. Le modèle peut être programmé pour exécuter automatiquement des séquences de dépôt complexes, ce qui permet aux utilisateurs de créer des recettes de dépôt personnalisées pour des structures et des propriétés de film spécifiques. La surveillance en temps réel des paramètres de dépôt tels que la vitesse de dépôt, l'épaisseur du film et la température du substrat est assurée par l'interface logicielle intuitive de l'équipement. En plus de ses capacités avancées pour le dépôt de couches minces, DENTON VACUUM Explorer 14 est également conçu pour faciliter la maintenance et l'entretien. Le système comprend des caractéristiques de conception ergonomique telles que l'accès facile aux sources de dépôt et aux composants sous vide, ainsi qu'une construction modulaire qui simplifie le remplacement et la mise à niveau des composants. DENTON VACUUM offre un support technique complet et une formation pour aider les utilisateurs à maximiser les performances et le temps de disponibilité de Explorer 14. Dans l'ensemble, DENTON VACUUM Explorer 14 est une unité de dépôt de couches minces à la pointe de la technologie qui offre des performances exceptionnelles, une polyvalence et une facilité d'utilisation pour un large éventail d'applications industrielles et de recherche. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, Explorer 14 est un outil précieux pour les chercheurs et les ingénieurs qui cherchent à créer des films minces de haute qualité avec contrôle précis et reproductibilité.
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