Occasion LEYBOLD HERAEUS L 560 #9094443 à vendre en France
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Vendu
ID: 9094443
Taille de la plaquette: 4"-6"
E-Beam Evaporator, 4"-6"
Unit can deposit (8) each 4" substrates simultaneously
Or (5) each 6" substrates
Vacuum chamber nonmagnetic stainless steel
Inner diameter: ~ 550 mm
Chamber with frame: 1,810 x 830 x 1,200 mm
Control cabinet: 1,810 x 570 x 810 mm
High-vacuum pumping system
Turbo-molecular pump: TURBOVAC 1000
Pumping speed for N2: 1,000 liter/s
Rotary vane pump: TRIVAC D65B
Pumping speed: 65m³/h
LN2 cooling trap
Consumption: ~ 1 liter/h
Viewing baffle: Automatic pumping-system control
Vacuum gauges
Fore-vacuum meter: TM220S 10-³ to 10³ mbar
High-vacuum meter: IM 210 10-9 to 10-³ mbar
E-beam source:
E-beam gun: ESV 6-270, 4 kW
E-beam evaporation source with 4 pockets
Diameter of 1 pocket: ~ 20 mm
Glow Discharge Unit for pre-cleaning
(1) Holder for quartz microbalance crystal
Inficon deposition controller XTC/2 connected to crystal unit
(2) Thermal Evaporators with shutters
(3) Gas-flow meter with MKS MFCs
Chamber:
Carousel diameter: 450 mm
Chamber size: 560 W x550 D x 580 H mm
Vacuum Pumps:
TRIVAC D65, RUVAC WS251 and Leybold Turbopump Turbovac 1000 with 1000/1500 Turbotronic
Cooling system:
Water cooling of e-beam source
Cooling water lines placed around the chamber
Heating system:
No water heating of the chamber
Includes equipment for wafer and chamber heating
Substrate Holder:
Holder can be chosen to rotate during the whole process.
L'évaporateur LEYBOLD HERAEUS L 560 est un évaporateur à haute efficacité, à commande automatique, conçu pour l'évaporation thermique de matériaux organiques et de solutions aqueuses. L 560 utilise une chambre d'évaporation, fournissant une technique de dépôt unique permettant une décomposition thermique finement contrôlée et efficace des composés volatils et semivolatiles. L'évaporateur est doté d'une conception d'évaporateur peu coûteuse et très efficace qui minimise le risque de contamination du produit. LEYBOLD HERAEUS L 560 dispose de réglages automatiques de température et de pression combinés à une opération simple et intuitive, permettant aux utilisateurs de configurer rapidement l'évaporateur pour chaque expérience. Comme l'évaporateur est prédéfini pour un matériau spécifique, les utilisateurs peuvent facilement reproduire les processus d'évaporation et adapter rapidement leur configuration à leurs besoins de recherche ou d'application. Un équipement simple et facile à utiliser permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les réglages à la volée depuis l'écran de l'instrument. L 560 dispose d'une colonne d'évaporateur en verre fixe et d'une plaque chauffante réglable pour réguler le chauffage et le débit de produit. La plaque chauffante basse tension de haute puissance de l'évaporateur assure l'évaporation d'une large gamme de matériaux, tout en protégeant le système contre les surcharges de courant. La plaque chauffante réglable permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la température du four, ce qui permet des processus d'évaporation répétables. LEYBOLD HERAEUS L 560 offre également une unité de ventilation ergonomique et très fiable, permettant d'extraire la chaleur et les fumées de la chambre d'évaporateur et de les transférer efficacement dans l'un des deux conduits facilement accessibles. Un régulateur de débit d'air réglable offre aux utilisateurs un haut niveau de contrôle de la vitesse d'évaporation, assurant des températures de séchage et de séchage uniformes. De plus, une machine flexible de conduits flexibles assure un fonctionnement silencieux et la circulation d'air dans l'évaporateur. L 560 est équipé d'un outil de filtration avancé, qui filtre l'atmosphère à travers deux crépines, collectant la poussière et les particules avant qu'elles n'atteignent la chambre d'évaporateur. Cet actif de filtration avancée assure la sécurité des matériaux combustibles, ainsi que la sécurité de fonctionnement. Une grande variété d'accessoires sont disponibles pour LEYBOLD HERAEUS L 560, y compris des porte-échantillons, des plateaux d'échantillons, des flacons d'évaporateur, et plus encore, garantissant aux utilisateurs tout ce dont ils ont besoin pour des processus d'évaporation réussis et répétables. Peu importe l'application, L 560 offre une évaporation thermique très fiable des matières organiques et des solutions aqueuses.
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