Occasion ULVAC CRTM-8000 #9105412 à vendre en France
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ULVAC CRTM-8000 est un évaporateur conçu pour diverses applications dans le dépôt de matériaux à couches minces. Cet évaporateur est équipé d'un équipement avancé de transport en phase vapeur (VAPT) à basse température. Le système utilise une source de faisceau d'électrons précis (PEBS) brevetée ULVAC. Ceci utilise un faisceau d'électrons précis avec une lentille magnétique spécialement conçue pour contrôler le processus de dépôt. CRTM-8000 évaporateur est capable d'obtenir un degré de précision et d'homogénéité typiquement associé au dépôt en phase vapeur - bien supérieur à l'évaporation thermique standard. ULVAC CRTM-8000 a une plage de température de 0- 800℃, une taille de chambre de 120mm, et une cote de vide de 10-7 Torr. Il dispose d'un mécanisme de source de diffusion de gaz qui permet le transport en phase vapeur de gaz multiples avec un rendement élevé. Cette unité utilise des algorithmes avancés de contrôle de la rétroaction pour contrôler les processus de transport et de dépôt des vapeurs. CRTM-8000 a un degré élevé d'uniformité thermique et peut être utilisé dans une variété de modes de dépôt tels que LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), et le dépôt par pulvérisation (PVD). ULVAC CRTM-8000 a un temps de réponse thermique rapide qui assure une évaporation et un dépôt rapides des matériaux. Il dispose également d'une machine de contrôle thermique avancée qui peut surveiller avec précision et maintenir une température stable dans la chambre de dépôt. L'outil utilise des techniques avancées de détection de température, de chauffage, de refroidissement et d'amortissement pour optimiser et maintenir la température pour un dépôt précis de matériaux en couches minces. CRTM-8000 peut être configuré pour une seule plaquette ou des applications de traitement par lots et a un faible coût d'exploitation en raison de ses composants de haute performance et de la conception avancée des actifs. Le modèle utilise également un équipement d'émission 6-électro-de-positron qui fonctionne à haute et basse doses et peut être utilisé pour le dépôt de couches minces de matériaux réfractaires tels que le silicium amorphe, le silicium polycristallin, et peut être utilisé sur des substrats tels que les métaux, la céramique et le verre. ULVAC CRTM-8000 est un évaporateur efficace et économique conçu pour un large éventail d'applications. Ses caractéristiques avancées lui permettent d'obtenir une grande précision et homogénéité de dépôt couplées à un contrôle précis de la température, ce qui en fait la solution idéale pour une variété de procédés de dépôt en couches minces.
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