Occasion ULVAC EBX-10C #293649865 à vendre en France
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ID: 293649865
Style Vintage: 1982
Vapor deposition system
Chamber: 650×800 mm
(3) Resistance heating (Front door type)
Vacuum gauge
Film thickness gauge with revolving jig
Required cooling water: 2kg/cm²G (10ℓ/min)
Required air pressure: 5kg/cm²G
Substrate holder size: 430 mm
Effective deposition range: 350 mm
1982 vintage.
ULVAC EBX-10C est un évaporateur haute performance conçu pour fournir un procédé d'évaporation rentable et efficace pour des applications telles que le dépôt de couches minces et le traitement de surface. L'évaporateur est bien adapté aux procédés de recherche, de développement et de production avancés. Cet évaporateur dispose d'électrodes platinées ULVAC X-Series et du procédé breveté EBX (EVAPoration Bias eXchange). Cette technologie brevetée permet à l'évaporateur d'effectuer des évaporations rapides avec un minimum d'énergie d'entrée et d'obtenir une grande uniformité dans le film déposé. La grande uniformité du taux de dépôt permet des rendements de produits plus élevés, des temps de traitement plus rapides et des performances élevées. EBX-10C est composé d'un corps principal en acier inoxydable étanche au vide et d'un équipement sous vide robuste et fiable. Le système de vide comprend une pompe turbomoléculaire, une jauge de vide, un régulateur de vide et un filtre à brouillard d'huile. Cette unité permet un processus de vaporisation stable et réduit l'accumulation de contaminants. L'évaporateur est équipé d'un régulateur de débit massique et de chauffage de haute précision qui permettent un contrôle précis de la température pendant le processus de dépôt du film. Le régulateur de débit massique assure un contrôle précis de l'apport thermique et de l'épaisseur du film, permettant la cohérence du produit. L'évaporateur est également équipé d'une machine à rétroaction thermocouple qui surveille la vitesse de dépôt afin de maintenir un contrôle précis de la température du substrat. ULVAC EBX-10C est également équipé d'un contrôleur logique programmable automatisé (PLC) qui permet un contrôle automatisé de l'évaporateur. L'outil PLC permet un contrôle précis de la vitesse de chauffage, des paramètres de vide et de l'épaisseur du film. Ce contrôle précis assure un dépôt uniforme et évite les surdépositions ou les sous-dépôts, ce qui permet un meilleur contrôle des performances et de la qualité. L'actif d'évaporation de EBX-10C est sans contact, offrant de meilleures performances de dépôt et une meilleure sécurité. L'évaporateur est conçu pour maintenir l'entretien au minimum, car il n'a pas de points de contact métal-métal et ne nécessite aucun nettoyage supplémentaire, permettant un entretien facile et des performances de longue durée de vie. En résumé, ULVAC EBX-10C est un évaporateur haute performance avancé conçu pour le dépôt efficace de couches minces et le traitement de surface. L'évaporateur dispose d'un modèle de vide robuste, d'un régulateur de débit massique de haute précision et d'un équipement de rétroaction dynamique permettant un contrôle précis de la température et un dépôt uniforme. Grâce à son système PLC, EBX-10C est également capable de contrôle automatisé et offre une répétabilité supérieure, permettant des rendements de produit plus élevés et un meilleur contrôle du processus.
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