Occasion ULVAC EBX-16C #9111735 à vendre en France
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ULVAC EBX-16C est un système d'évaporation de haute précision conçu pour le dépôt de couches minces et la fabrication de semi-conducteurs. Cet évaporateur offre une flexibilité maximale en termes de sources d'évaporation, de paramètres de contrôle du procédé et de dimensions des chambres pour répondre aux divers besoins des diverses applications de dépôt. La zone de chauffage de l'évaporateur est équipée d'un canon à arc Fast- Etch™ à haute fréquence de 16 kW pour une efficacité de chauffage améliorée et une vitesse de dépôt uniforme. EBX-16C comporte une zone chauffée en forme de cloche avec une forme de cône peu profonde, ce qui contribue à réduire le colmatage et à assurer une uniformité uniforme du film. La forme peu profonde de la cloche minimise également la perte de chaleur et aide à maintenir la température de l'évaporant même lors de dépôts plus délicats. Un injecteur séparé est également disponible pour les dépôts sur de petits substrats. ULVAC EBX-16C est contrôlé en température par un régulateur de température à faible émission thermique, de type diode, qui fournit un contrôle de température précis, réglable et fiable. Le système est également équipé d'un contrôle actif des émissions qui offre une sécurité et une stabilité accrues. EBX-16C a un haut degré d'automatisation, permettant son utilisation facile et cohérente. Il est livré avec un écran tactile intuitif de contrôle, permettant aux opérateurs d'accéder et de modifier tous les paramètres et paramètres de processus pertinents. ULVAC EBX-16C est également supporté par un logiciel qui permet l'enregistrement et l'analyse des données, ainsi que des capacités de post-traitement. EBX-16C est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de précisions et de répétabilité dans le dépôt de couches minces. Les performances fiables de l'évaporateur, son excellente homogénéité de température et sa faible émission thermique en font un choix idéal pour une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. L'utilisation de technologies avancées de contrôle des processus, y compris la programmation logicielle, permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats encore plus précis.
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