Occasion ULVAC ei-OPT085 #9376087 à vendre en France
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ID: 9376087
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 2010
Optical evaporation system, 4"
Wafer size: φ50mm±1.0mm
Thickness: 280±15μm
Dome size: 790φmm (4" Wafer x 110Pcs)
EB-Gun: EG0-1G
HPS-1000G-100 EB Power supply, 10kW
LR90 Dry pump
CP11 U-16P Cryo pump
DRP11 Dry pump with LR-90 Silencer
MFC: O2 Gas, 50 SCCM
Lamp heater: Maximum 350°C
PLC CPU
C-30VR Cryo compressor
TOKYO INSTRUMENTATION FS12-13-21-22 FA Series flow switch
VEECO Ion gun controller screen
CRTM-9000G Film thickness monitor
ET1515LJ Touch panel system
BENQ Monitor, 15"
Main source shutter
(4) Heating lamp units
Main breaker
IG Filament gauge
Ion gun
Pig gauge
MAINTE Button cover
Holder
Lid plate
(4) Spare parts for protective board
No quartz oscillator
No EBGU
No dome
2010 vintage.
L'évaporateur ULVAC ei-OPT085 est un équipement de haute performance conçu pour le processus de dépôt sous vide. C'est un type d'évaporateur physique de dépôt en phase vapeur (PVD) qui a été construit pour le dépôt de films métalliques ou céramiques sur les surfaces du substrat. Le système est principalement utilisé pour des applications industrielles et, à ce titre, sa fonction première est d'assurer le dépôt de couches minces sur différentes surfaces avec la plus grande précision. Ei-OPT085 est un évaporateur mono-substrat avec une conception symétrique et des chambres à vide élevé. Ses parois cylindriques sont en acier inoxydable très durable avec des dimensions de 200 mm (diamètre) et 600 mm (hauteur). L'évaporateur a une résistance thermique de 0,2 (C/s). En outre, il fournit une excellente conductivité thermique, aidant la surface du substrat à atteindre rapidement la température désirée. La chambre de dépôt présente un niveau de vide de 330μM/sec, avec un manomètre de sortie. L'évaporateur utilise la technologie brevetée ULVAC A-Mode Flow Booster (AFB) pour contrôler précisément le débit de vapeur. Cela garantit la cohérence et la fiabilité du processus de dépôt. ULVAC ei-OPT085 est alimenté par une unité d'entraînement à fréquence variable qui réduit le besoin de composants mécaniques. Ei-OPT085 possède plusieurs fonctions de contrôle du processus de production, dont une machine de contrôle de la température précise, un outil d'analyse assisté par ordinateur, un outil de contrôle de la température et un enregistreur de données. De plus, l'évaporateur dispose de capacités intelligentes de contrôle des dépôts, d'auto-surveillance de divers paramètres critiques et de capacités d'ajustement rapide des processus. Un modèle de refroidissement avancé fournit à l'évaporateur un contrôle de température supérieur, le rendant capable de dépôt de film de haute qualité avec des impuretés minimales. Dans l'ensemble, l'évaporateur ULVAC ei-OPT085 est un équipement de pointe pour le dépôt physique en phase vapeur, et fournit aux utilisateurs des performances fiables et des résultats très précis. Avec ses caractéristiques uniques et sa conception efficace, le système est idéal pour une utilisation dans des industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, d'appareils électroniques et médicaux.
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