Occasion ULVAC ei-OPT085 #9376087 à vendre en France

Fabricant
ULVAC
Modèle
ei-OPT085
ID: 9376087
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 2010
Optical evaporation system, 4" Wafer size: φ50mm±1.0mm Thickness: 280±15μm Dome size: 790φmm (4" Wafer x 110Pcs) EB-Gun: EG0-1G HPS-1000G-100 EB Power supply, 10kW LR90 Dry pump CP11 U-16P Cryo pump DRP11 Dry pump with LR-90 Silencer MFC: O2 Gas, 50 SCCM Lamp heater: Maximum 350°C PLC CPU C-30VR Cryo compressor TOKYO INSTRUMENTATION FS12-13-21-22 FA Series flow switch VEECO Ion gun controller screen CRTM-9000G Film thickness monitor ET1515LJ Touch panel system BENQ Monitor, 15" Main source shutter (4) Heating lamp units Main breaker IG Filament gauge Ion gun Pig gauge MAINTE Button cover Holder Lid plate (4) Spare parts for protective board No quartz oscillator No EBGU No dome 2010 vintage.
L'évaporateur ULVAC ei-OPT085 est un équipement de haute performance conçu pour le processus de dépôt sous vide. C'est un type d'évaporateur physique de dépôt en phase vapeur (PVD) qui a été construit pour le dépôt de films métalliques ou céramiques sur les surfaces du substrat. Le système est principalement utilisé pour des applications industrielles et, à ce titre, sa fonction première est d'assurer le dépôt de couches minces sur différentes surfaces avec la plus grande précision. Ei-OPT085 est un évaporateur mono-substrat avec une conception symétrique et des chambres à vide élevé. Ses parois cylindriques sont en acier inoxydable très durable avec des dimensions de 200 mm (diamètre) et 600 mm (hauteur). L'évaporateur a une résistance thermique de 0,2 (C/s). En outre, il fournit une excellente conductivité thermique, aidant la surface du substrat à atteindre rapidement la température désirée. La chambre de dépôt présente un niveau de vide de 330μM/sec, avec un manomètre de sortie. L'évaporateur utilise la technologie brevetée ULVAC A-Mode Flow Booster (AFB) pour contrôler précisément le débit de vapeur. Cela garantit la cohérence et la fiabilité du processus de dépôt. ULVAC ei-OPT085 est alimenté par une unité d'entraînement à fréquence variable qui réduit le besoin de composants mécaniques. Ei-OPT085 possède plusieurs fonctions de contrôle du processus de production, dont une machine de contrôle de la température précise, un outil d'analyse assisté par ordinateur, un outil de contrôle de la température et un enregistreur de données. De plus, l'évaporateur dispose de capacités intelligentes de contrôle des dépôts, d'auto-surveillance de divers paramètres critiques et de capacités d'ajustement rapide des processus. Un modèle de refroidissement avancé fournit à l'évaporateur un contrôle de température supérieur, le rendant capable de dépôt de film de haute qualité avec des impuretés minimales. Dans l'ensemble, l'évaporateur ULVAC ei-OPT085 est un équipement de pointe pour le dépôt physique en phase vapeur, et fournit aux utilisateurs des performances fiables et des résultats très précis. Avec ses caractéristiques uniques et sa conception efficace, le système est idéal pour une utilisation dans des industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, d'appareils électroniques et médicaux.
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