Occasion ULVAC EX-550 #293750213 à vendre en France
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ULVAC EX-550 est un équipement d'évaporateur sophistiqué conçu pour les procédés de dépôt de couches minces dans diverses industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, l'optique et les laboratoires de recherche. Ce système haute performance offre des fonctionnalités avancées et des paramètres de contrôle précis pour permettre des couches minces efficaces et uniformes sur les substrats. Composants clés : EX-550 L'évaporateur se compose de plusieurs composants clés qui travaillent ensemble pour créer un environnement sous vide contrôlé pour le dépôt de couches minces. L'unité comprend une chambre à vide, un porte-substrat, une source d'évaporation du faisceau d'électrons, des alimentations électriques, une machine de traitement du gaz et un logiciel de contrôle. Chambre à vide : La chambre à vide d'ULVAC EX-550 est conçue pour créer un environnement à vide élevé nécessaire aux procédés de dépôt de couches minces. La chambre est faite de matériaux de haute qualité pour assurer un dégazage minimal et la contamination des films déposés. Il est équipé de systèmes de pompage performants tels que des pompes turbomoléculaires et des pompes à rugosité pour atteindre et maintenir les niveaux de vide désirés. Porte-substrat : Le porte-substrat en EX-550 est équipé de capacités de chauffage et de rotation pour assurer un dépôt uniforme des couches minces sur les substrats. Le support peut accueillir différentes tailles et types de substrats, ce qui permet une flexibilité dans le processus de dépôt. Un contrôle précis de la température et une vitesse de rotation permettent le dépôt de couches minces multicouches complexes avec une grande uniformité. Source d'évaporation du faisceau d'électrons : La source d'évaporation du faisceau d'électrons dans ULVAC EX-550 est un composant clé responsable de la vaporisation des matériaux de dépôt des couches minces. La source génère un faisceau d'électrons focalisés qui empiète sur le matériau cible, le faisant s'évaporer et se déposer sur le substrat. L'outil assure un contrôle précis de la vitesse d'évaporation, de l'angle de dépôt et de l'homogénéité des films déposés. Alimentations : EX-550 est équipé d'alimentations hautes performances qui fournissent les tensions et les courants requis aux sources d'évaporation, au porte-substrat et aux autres composants de l'actif. Ces alimentations assurent un fonctionnement stable et fiable du modèle, permettant un contrôle précis des paramètres de dépôt. Equipement de manutention du gaz : Le système de manutention du gaz en ULVAC EX-550 permet l'introduction de gaz réactifs tels que l'oxygène ou l'azote dans la chambre à vide pendant le processus de dépôt. Cette capacité permet le dépôt d'oxyde, de nitrure et d'autres couches minces composées avec des propriétés spécifiques. Les régulateurs de débit de gaz et les débitmètres massiques assurent un contrôle précis des débits de gaz et des compositions. Logiciel de contrôle : Le logiciel de contrôle de EX-550 fournit une interface conviviale pour la mise en place et la surveillance des processus de dépôt de couches minces. Le logiciel permet de programmer des recettes de dépôts, de surveiller en temps réel des paramètres clés tels que le niveau de vide, la température et le taux de dépôt, et d'enregistrer les données pour l'optimisation et l'analyse des processus. Dans l'ensemble, l'évaporateur ULVAC EX-550 est une unité polyvalente et fiable pour les applications de dépôt en couches minces nécessitant une précision et un contrôle élevés. Ses caractéristiques avancées et son design robuste le rendent adapté à un large éventail d'industries et de domaines de recherche qui exigent des couches minces de haute qualité.
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