Occasion ULVAC Satella #9160531 à vendre en France
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ID: 9160531
Style Vintage: 2006
Vacuum evaporation system
Cluster tool
Substrate size: 185mm x 235mm x 0.7mmt
Tact time: 30 minutes
Applications: R&D, device prototypes
System configuration:
Pre-processing →Hole layer→Luminescent layer (R→G→B) →Electrode layer→ Sealing (manual)
Organic deposition processes
Multiple independent chamber
Full-color device production
Difficult application for Solciet
7-Sided transfer chamber
Support 2 to 4 organic deposition chambers
High-precision mask alignment mechanism for active-matrix full-color devices
Currently de-installed
2006 vintage.
ULVAC Satella est un équipement innovant utilisé pour le dépôt de couches minces. Le système a une configuration unique qui se compose d'une source de pulvérisation magnétron RF et d'une source d'ions alimentée au gaz placée dans un plan horizontal. L'unité produit des films uniformes de haute qualité qui sont utilisés dans une variété d'applications industrielles, médicales et analytiques. La machine intègre une source de pulvérisation magnétron à radiofréquence (RF) qui est montée à la base du corps principal. Cette source permet le dépôt de films conducteurs à une vitesse élevée. La source d'ions, alimentée par une source de gaz haute tension (HV), est positionnée dans un plan vertical. Ceci permet un bombardement ionique simultané des cibles métalliques, permettant un revêtement de surface lisse et propre. Satella est bien adapté pour former des revêtements durs sur des substrats métalliques en raison de sa conception efficace et de ses capacités de traitement de matériaux de haute performance. L'outil a un excellent contrôle de l'ionisation des matériaux, ce qui le rend idéal pour les applications de revêtement de pièces. La source d'ions produit des faisceaux fortement focalisés même à des températures extrêmement basses, assurant un dépôt uniforme sans risque de dommages. L'actif dispose de plusieurs fonctionnalités conviviales, telles qu'une interface utilisateur graphique (UI) pour un fonctionnement facile, ainsi que le dépôt automatique de la couche de film. Il est également livré avec un assortiment de fonctionnalités utiles, telles que le contrôle de la température, la régulation de la pression et l'étalonnage automatique. Le modèle est compatible avec de nombreux adaptateurs, y compris la robotique, ce qui le rend adapté à de multiples configurations de flux de processus et d'automatisation. ULVAC Satella dispose d'un équipement de pulvérisation entièrement automatique et programmable qui permet de réduire les temps de montage et d'augmenter le débit de production. Il peut être utilisé pour divers procédés de dépôt de couches minces, y compris l'évaporation métallique, le dépôt de couches minces, le dépôt de semi-conducteurs et l'implantation ionique. Satella est un système de pulvérisation par pulvérisation fiable, convivial et économique qui aide à réaliser des films uniformes de haute qualité avec d'excellentes performances. Avec ses capacités robustes et sa conception intuitive, l'unité est une option viable pour les entreprises qui cherchent à améliorer rapidement la qualité de leurs produits.
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