Occasion ADTEC Anex-A2161 #9286116 à vendre en France
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ADTEC Anex-A2161 est un équipement d'exposition optique haut de gamme, conçu pour des applications de lithographie de haute précision. Utilisant une combinaison unique d'optique avancée, de mécanique de précision et d'électronique de pointe, Anex-A2161 fournit aux utilisateurs des performances d'imagerie très fiables, précises et reproductibles dans l'alignement des masques et les opérations d'écriture directe. Le système dispose d'une optique avancée, composée d'une unité de démagnification de haute précision de 2,5 x et d'une machine à miroir à balayage laser robuste (LBS). Cette combinaison d'optiques permet une imagerie haute résolution dans le champ de vision de 10 degrés. En outre, l'installation comprend un outil à diode laser accordable (TLD), qui permet de sélectionner avec précision la longueur d'onde de 420 nanomètres à 570 nanomètres, à des intervalles de 10 nanomètres. Le TLD peut également être utilisé pour contrôler le niveau d'exposition, permettant une plus grande précision que les sources de lumière blanches classiques. L'atout dispose également d'une plate-forme de mouvement de précision sophistiquée pour déplacer et positionner avec précision l'ensemble optique. Cette plate-forme de mouvement est construite sur un étage optique de haute qualité avec une accélération extrêmement faible et des dérives de vitesse. L'étage peut être programmé pour les mouvements X-Y et Z, avec un positionnement précis et une répétabilité de 0,02 microns. De plus, il existe un mécanisme unique de réglage de l'inclinaison qui utilise un mécanisme d'étage à commande pneumatique pour compenser avec précision les erreurs de topographie des échantillons. Le modèle permet aux utilisateurs de programmer plusieurs processus d'exposition en utilisant son interface logicielle. Les processus peuvent être composés de jusqu'à 16 commandes d'exposition individuelles, qui peuvent être exécutées avec des instructions simples basées sur la forme. Cela permet aux utilisateurs de configurer, stocker et rappeler rapidement différentes stratégies d'exposition, ainsi que d'intégrer facilement une variété de modèles dans un seul travail. ADTEC Anex-A2161 combine un ensemble complet de fonctionnalités et un haut niveau de sophistication opérationnelle pour fournir des résultats optimaux dans toute application de lithographie. Ses systèmes avancés d'optique et de mouvement se combinent pour en faire un outil idéal pour l'imagerie de précision dans une variété de domaines, de la nanotechnologie et la fabrication de semi-conducteurs à la recherche en optique et en photonique. Avec son design sophistiqué et fiable, Anex-A2161 est le choix idéal pour réaliser des images robustes, fiables et répétables.
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