Occasion AXCELIS / FUSION 150 #9384765 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 150 est un équipement d'exposition sophistiqué développé par FUSION Technologies Inc., utilisé pour divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système est bien adapté à des applications telles que le traitement des plaquettes, la lithographie, la chimiépitaxie et la fabrication de MEMS. Cette unité offre des fonctionnalités avancées pour répondre aux besoins rigoureux de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui, offrant des performances et une fiabilité supérieures. FUSION 150 est basé sur une plate-forme d'éclairage hors axe à champ modulé (PFIL). Cette plate-forme unique permet d'exposer des caractéristiques non symétriques avec une grande précision. La machine a des résolutions d'imagerie et d'éclairage de 1,4 et 14 nm, respectivement. Il utilise un outil d'alignement automatisé avec une gamme d'algorithmes de traitement d'image pour assurer une modélisation précise et répétable des champs. L'actif permet également un contrôle et un ajustement de l'exposition au grain fin. Le modèle est entièrement intégré avec une métrologie avancée et des fonctions de contrôle de mouvement avancées pour garantir un haut débit et des résultats précis. Sa boîte à outils haute résolution permet une superposition et une répétabilité précises, tandis que ses capacités de métrologie assurent une exposition égale aux plaquettes. Il prend en charge une gamme de configurations programmables de taille de champ telles que plein champ, quadrant et segment pour permettre un positionnement et une exposition de répétition précis. AXCELIS 150 est très économe en énergie et comprend un équipement de gestion de l'énergie haute performance avec des unités de puissance et de refroidissement intégrées. Tous les composants de puissance et de refroidissement nécessaires sont intégrés au système pour une efficacité énergétique et une fiabilité optimales. L'unité est conforme aux exigences réglementaires et de sécurité mondiales, et est conçue pour la fiabilité et l'exploitation à long terme. Il est également construit avec une interface utilisateur intuitive, permettant un fonctionnement facile et intuitif. En outre, il a une configuration de machine robuste qui permet une intégration et une exécution rapides et faciles de l'outil. La ligne 150 présente diverses caractéristiques, dont l'alignement automatique, le réglage intégré des champs, l'automatisation complète et une grande efficacité énergétique. C'est un choix idéal pour des procédés d'exposition de haute précision et une production de plaquettes rentable. Ses caractéristiques avancées et son fonctionnement fiable le rendent hautement adapté aux exigences de production de semi-conducteurs.