Occasion AXCELIS / FUSION 150PC #84749 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 150PC est un équipement de pointe d'exposition aux plaquettes et masques de haute performance conçu pour répondre aux exigences strictes du traitement avancé de la photolithographie. FUSION 150PC est doté d'une architecture deux en un, d'une colonne optique entièrement intégrée avec deux étages de plaquettes et de masques indépendants. Cette architecture unique deux en un permet l'exposition simultanée d'une plaquette et d'un masque, ce qui en fait le choix idéal pour répondre aux exigences strictes en matière de débit accru dans le traitement de lithographie avancée. Le système utilise un puissant lecteur laser programmable et un étage intégré de masque et de réticule de plaquette pour assurer un alignement précis du réticule et de la plaquette. L'unité dispose également d'un ensemble optique avancé et d'une gamme complète d'options d'imagerie allant du microscope optique aux systèmes d'inspection UV et SEM. AXCELIS 150 PC comprend une gamme complète d'outils et de fonctionnalités de traitement, y compris la correction de trajectoire optique, l'amélioration de l'image et des outils d'alignement et de mesure automatisés entièrement programmables. Une suite intégrée d'étalonnage et de vérification assure des résultats cohérents et reproductibles. La machine est livrée avec une nouvelle procédure de contrôle révolutionnaire pour améliorer la précision et le débit, permettant à l'utilisateur de contrôler la dose, le timing, le focus et d'autres paramètres critiques avec facilité et rapidité. FUSION 150 PC est capable d'atteindre une résolution maximale de 1.5x l'outil I-line classique, de sorte qu'il peut atteindre des fonctionnalités de circuit ultra-fine, tout en réduisant les coûts. L'actif est également équipé d'outils de diagnostic avancés qui permettent des tests de puissance laser non destructifs, fournissant une mesure précise et reproductible de chaque réticule et plaquette exposée. Pour les zones nécessitant de la cohérence, le modèle est conçu avec un algorithme de chevauchement avancé qui permet d'adapter les expositions des plaquettes aux réticules avec un minimum d'effort et d'intervention de l'utilisateur. AXCELIS 150PC est un équipement haut de gamme au design robuste et fiable, idéal pour atteindre les plus hauts niveaux de débit et de précision dans le processus de lithographie avancée. Sa combinaison de fonctionnalités innovantes et de système de contrôle avancé en fait un excellent choix pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.