Occasion AXCELIS / FUSION 150PC #9302854 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 150PC est un équipement d'exposition conçu pour les procédés de photolithographie utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu par FUSION Technologies, un chef de file dans le domaine des solutions technologiques avancées. Le système utilise un générateur de motifs en forme de faisceau variable (VSB), qui produit des taches focalisées et précises de rayonnement UV de haute énergie pour exposer les motifs désirés sur les photomasques. L'unité est capable d'une productivité élevée en raison de sa haute résolution, de son grand champ de vision et de ses capacités d'imagerie aérienne multicouche. FUSION 150PC a une puissance de source pouvant atteindre 150 watts et fournit une optique de projection optimisée pour contrôler la taille et la forme du faisceau. Il est composé d'un générateur de motifs VSB, d'une lentille d'imagerie et d'une alimentation électrique pertinente. L'objectif d'imagerie est conçu avec une télécentricité à plusieurs niveaux, ce qui permet une précision maximale d'imagerie. La machine de focalisation évolutive et auto-alignante utilise un outil optique galiléen à sept éléments et un contrôle de focalisation automatisé pour obtenir une répétabilité de niveau sub-micron. Son atout de positionnement de faisceau de haute précision permet un alignement stable et rapide du générateur de motifs VSB et de la lentille d'imagerie pour assurer l'impuissance. AXCELIS 150 PC a une haute résolution de 0,7 µm, capable de produire des images supérieures avec une large gamme dynamique. Son grand champ de vision offre des capacités d'imagerie exceptionnelles pour différentes tailles de masques et différents motifs de circuits. Le modèle supporte également l'imagerie aérienne multicouche, permettant la fabrication à haut débit de structures 3D complexes. Sa reconnaissance automatique des motifs permet une grande précision du processus de reconnaissance des motifs. L'équipement est conçu avec un système d'alignement de haute précision, qui est capable de contrôler et de détecter la précision de position de la table de masque avec une précision de 5um. L'unité dispose également de caractéristiques de sécurité avancées telles que l'arrêt de puissance et le verrouillage de sécurité. De plus, ses composants optiques sont intégrés à l'étalonnage automatique, ce qui réduit le nombre de réglages manuels. Dans l'ensemble, FUSION 150 PC est une machine d'exposition aux UV supérieure conçue pour les processus de photolithographie. Il est capable de résolution maximale et de débit élevé grâce à son outil de formation de faisceau de précision, son champ de vision étendu et ses capacités d'imagerie aérienne multicouches. En tant que machine de photolithographie de pointe, AXCELIS 150PC est un choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.