Occasion AXCELIS / FUSION 200 ACU #9191126 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 ACU est un équipement avancé d'exposition automatique conçu pour fournir un contrôle lithographique précis et reproductible d'un substrat unique, d'un substrat multiple et de substrats très complexes. L'ACU, conçu pour les applications photolithographiques les plus exigeantes, peut appliquer, contrôler et surveiller l'exposition de divers substrats et caractéristiques, y compris des substrats multiples, avec un haut degré de répétabilité. Le système offre une expérience utilisateur simplifiée et des fonctionnalités robustes et puissantes pour optimiser le processus lithographique. La conception optique et mécanique optimisée de l'ACU permet d'utiliser des éclairages de longue durée et à combustion réduite qui sont facilement et économiquement entretenus. Une lampe à halogène à quartz efficace fournit des expositions reproductibles à des lumières élevées et basses, tandis qu'un étage de plaquette réglable permet à l'unité de changer rapidement de substrats et d'illuminations lors d'une exposition. De plus, une commande d'obturateur évoluée et réglable permet un fonctionnement et un positionnement précis ainsi qu'un étalonnage d'obturateur supérieur. L'UAC se compose d'un ordinateur central et d'une unité de contrôle et d'une tête d'exposition. L'ordinateur central se compose d'affichages et de commandes numériques, y compris des réglages de cadran pour la commande d'obturation et les réglages d'ouverture. L'unité de commande comprend un contrôleur de tête, des relevés numériques de plaquettes et une technologie de commande de moteur. L'ordinateur central exécute des logiciels avancés et des améliorations matérielles avancées, et a la capacité de stocker jusqu'à 8 programmes d'exposition. Avec une interface utilisateur intuitive, l'ACU s'intègre facilement dans un large éventail de conceptions environnementales. Un vaste ensemble de lentilles, de prismes et de miroirs est disponible pour personnaliser l'obturateur, l'optique de projection et la tête d'exposition afin de répondre aux exigences de la lithographie. De plus, une machine de diagnostic automatisée et intégrée en temps réel permet de surveiller et d'ajuster les performances, ce qui aide à prévenir les temps d'arrêt et à minimiser les coûts associés à l'installation, au recalibrage et au recalibrage. L'ACU offre aux utilisateurs une conception propre et peu entretenue et une variété de contrôles environnementaux, tels que le contrôle de la température et de l'humidité, le blindage des interférences électromagnétiques (IME) et les enceintes ventilées. L'outil est également conforme aux mesures de sécurité approuvées par la FDA pour les industries des semi-conducteurs et de la photolithographie. En conclusion, FUSION 200 ACU est un atout avancé et complet conçu pour fournir un contrôle lithographique précis et répétable des substrats compliqués. Il dispose d'un design propre et peu entretenu, de diagnostics automatisés et d'une large gamme de fonctionnalités optiques et mécaniques. Avec ses fonctionnalités avancées et son interface conviviale, l'ACU est idéal pour les applications nécessitant des niveaux plus élevés de précision et de répétabilité.