Occasion AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225549 à vendre en France

L'équipement AXCELIS/FUSION 200 ACU est un système d'exposition avancé complet pour un haut débit, une résolution économique et inégalée en lithographie semi-conductrice. La combinaison de la lithographie avancée éprouvée et des capacités d'automatisation des processus offre aux fabricants les économies nécessaires, et une plus grande praticité dans la mise en œuvre de nœuds de processus avancés. La machine offre une précision de recouvrement avancée et une uniformité d'enregistrement, grâce à son alignement calibré de précision Stage et ses systèmes intégrés de détection des marques d'enregistrement. Son étage TwinScan Twinscan 5x ST à micro-pas permet également un champ de vision étendu et un traitement trop judicieux des grandes plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. L'illuminateur I-line Lighting de l'ACU sur l'axe améliore l'uniformité des processus et l'uniformité des réticules afin d'optimiser les projets. Son outil d'éclairage à l'état solide améliore les performances des produits et le contrôle des processus lithographiques. De plus, ses capacités de prépulse variables permettent un équilibrage plus ciblé des densités de dopants et un meilleur contrôle des largeurs de ligne et d'espace pour les nœuds de processus plus avancés. L'actif offre également de nombreux composants matériels en option, dont une unité de focalisation motorisée, un modèle de mesure de distance, un équipement de mesure de hauteur de photorésist liquide et un système d'interférométrie laser directe. L'évolutivité de ces solutions périphériques offre aux lithographes la souplesse dont ils ont besoin pour répondre à leurs besoins. Pour améliorer la qualité et la fiabilité, FUSION 200 ACU dispose de toutes les fonctionnalités nécessaires, y compris les capacités de multiprojecteurs, le contrôle des processus in situ, les recettes de processus intégrées, l'intégration avec les systèmes d'automatisation en usine et le support pour le traitement étendu ou multiple. Il dispose également d'une unité avancée de facilitation des plaquettes et d'une machine intégrée de manutention sous vide qui permet aux utilisateurs de se déplacer et d'échanger rapidement des plaquettes traitées avec un temps d'installation minimal. L'outil AXCELIS 200ACU est une solution polyvalente qui offre de nombreux avantages par rapport à d'autres solutions sur le marché. Il est parfait pour l'intégration dans des lignes de production nouvelles et existantes, son architecture favorise le passage rapide des produits et permet des économies. L'actif est également très fiable, offre des résultats exceptionnels et un contrôle cohérent des processus de production.