Occasion AXCELIS / FUSION 200 ACU #9235767 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 ACU est un équipement complet d'exposition au niveau des plaquettes conçu pour permettre des résultats reproductibles et précis pour toute une gamme d'applications avancées de dispositifs, y compris les semi-conducteurs, les MEMS, l'optoélectronique et les applications avancées d'emballage. Ce système dispose d'une unité d'éclairage exclusive, composée d'une lampe Xenon de grande puissance, d'un correcteur d'aberration avancé et d'une machine interne de correction de champ automatique. Cette technologie fournit une intensité élevée et un motif de lumière uniforme, permettant une durée d'exposition plus courte et des rendements de dispositif améliorés. De plus, un outil de correction de pointe réduit au minimum les aberrations et les distorsions du profil d'exposition, ce qui accroît encore la cohérence et l'exactitude des résultats. Avec cette combinaison, l'exposition sur FUSION 200 ACU est capable d'atteindre un double motif et une précision de recouvrement de 1,0 µm ou moins avec un niveau de contrôle de processus entièrement intégré. Cet actif d'exposition comporte également une gamme de sous-composantes intégrées et de capacités de processus. Il s'agit notamment d'un module de cartographie autonome à 2 étages, d'un pas sous micron de haute précision et d'un module d'imagerie directe laser (LDI). Avec ces composants intégrés, AXCELIS 200ACU est capable de supporter une variété de procédés avancés, tels que l'ultraviolet extrême (EUV), l'ultraviolet profond (DUV), et des applications de conditionnement avancées, dans une solution modulaire unique. En outre, FUSION 200ACU offre un haut niveau de flexibilité grâce à son architecture configurable. Cette conception modulaire permet de reconfigurer chaque composant pour répondre à une variété d'expériences et de besoins des utilisateurs. En outre, son réseau intégré et son modèle de contrôle permettent l'accès à distance et le fonctionnement de l'équipement, ce qui facilite son intégration avec les paramètres existants du laboratoire ou de l'usine. Pour maintenir un environnement optimal, le 200 ACU dispose d'un système de transfert avancé et d'une boîte à gaz pour s'assurer que les plaquettes restent dans un environnement sûr et propre tout au long du processus d'exposition. De plus, son mandrin à vide dynamique auto-nivelé assure des opérations sans entretien et permet une plus grande résolution des motifs sur des substrats plus petits. Au total, AXCELIS 200 ACU est une solution d'exposition idéale pour les applications de recherche et développement. Son unité intégrée de composants, son architecture flexible et ses capacités d'automatisation robustes garantissent des résultats reproductibles et précis pour toute une gamme d'applications avancées.