Occasion AXCELIS / FUSION 200 ACU #9399207 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 ACU est un équipement d'exposition automatisé conçu pour exposer les plaquettes de silicium à la lumière ultraviolette. Le système utilise des technologies de pointe telles que les réseaux de diodes laser, les optiques de reconnaissance de motifs, les capteurs de position et les systèmes de mouvements contrôlés par ordinateur pour exposer précisément les plaquettes à une variété d'applications. FUSION 200 ACU dispose d'un réseau de diodes laser à haut rendement capable d'émettre de la lumière ultraviolette jusqu'à 1000 watts, ce qui donne un débit plus élevé que les systèmes d'exposition classiques. Le réseau de diodes laser est basé sur la technologie avancée de l'optique et est auto-calibrage, permettant des précisions plus élevées et des motifs d'exposition répétée dans une seule plaquette. Cette unité est également capable de s'enfoncer dans des polygones, des cercles, des ellipses, des rectangles et des hexagones, ainsi que des motifs ou grilles périodiques et non périodiques. La reconnaissance automatique des motifs et l'optique de précision d'AXCELIS 200ACU permettent l'analyse de la qualité de la zone d'exposition (EZQ) sur une plaquette, avec la capacité de reconnaître et d'exposer avec précision les plaquettes à motifs en un seul passage. En outre, 200ACU utilise des systèmes de mouvement avancés qui servent à déplacer précisément la plaquette sous le réseau de diodes laser et entre les cycles d'exposition, validant avec précision la position du motif sur la plaquette à travers des capteurs de position. Cela garantit que les motifs sont exposés avec précision, indépendamment de la taille, de l'orientation ou de la complexité des motifs. Cet outil d'exposition automatisé et précis est capable de s'adapter à une variété de plaquettes, y compris les plaquettes de 3 pouces, 5 pouces, 8 pouces et 12 pouces, et est convivial, offrant aux utilisateurs la flexibilité de peaufiner l'actif pour répondre à leurs besoins spécifiques de processus. Avec sa conception robuste et fiable, 200 ACU est un excellent choix pour tout processus de production impliquant des plaquettes de silicium à motifs.