Occasion AXCELIS / FUSION 200 PC #9157616 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 PC est un équipement d'exposition avancé conçu pour les procédés semi-conducteurs avancés. Le système offre des performances supérieures sous la forme d'un champ de travail plus grand, une résolution plus élevée, et un contrôle d'exposition supérieur. Il est capable d'exposer des substrats jusqu'à 200mm de taille avec un contrôle avancé de l'obturateur et une précision d'alignement. L'unité dispose d'une optique d'imagerie haute résolution pour une capacité de fixation supérieure sur les substrats. Il peut traiter un large éventail de substrats nécessitant une exposition de précision, y compris jusqu'à 200 mm de résistance photo, verre, ou d'autres matériaux hautement transparents. L'algorithme unique Auto Focus de la machine permet un réglage automatique, à la volée, de la mise au point et de la résolution pour garantir des fonctionnalités optimales et répétables sur la plaquette exposée. L'outil est encore amélioré par plusieurs fonctionnalités de pointe conçues pour garantir une performance et une efficacité optimales. L'actif dispose d'un puissant modèle de manutention de plaquettes qui a l'alignement et le réglage automatique de plaquettes pour positionner avec précision la plaquette dans la chambre d'exposition. Il dispose également d'un équipement d'obturation intégré en boucle fermée qui assure une ouverture et une fermeture d'exposition cohérentes ainsi qu'une commande précise de l'obturateur. De plus, un système unique de placement de motifs die-to-die assure un alignement précis entre plusieurs modèles de matrice sur la plaquette. L'appareil dispose également d'une durée maximale d'exposition aux UV de 8 secondes. Cela augmente le débit et la productivité, tout en réduisant les défauts liés à la surexposition. Il dispose également de pompes à ions conviviales qui optimisent automatiquement la vitesse de la pompe et optimisent la distribution de la lumière UV. La machine d'exposition est en outre protégée par un verre de protection intégré qui assure un fonctionnement sûr et cohérent. FUSION 200 PC offre également des fonctionnalités avancées telles que la capacité d'alignement laser, de sorte que les tâches d'alignement, telles que l'alignement de la matrice et le nettoyage plasma pré-exposition, peuvent être achevées à la volée. En outre, l'outil est supporté par un logiciel de pointe pour le contrôle des processus, y compris le logiciel de contrôle d'exposition E-beam ou Stepper, ainsi que le logiciel de contrôle d'entrée/sortie numérique. Enfin, pour plus de fiabilité et de sécurité, l'actif comprend la surveillance de la sécurité au niveau matériel et logiciel avec des interrupteurs de sécurité et des verrous matériels dédiés. Cela garantit que le modèle fonctionne conformément aux normes de sécurité internationales. AXCELIS 200 PC est donc un équipement idéal pour les procédés avancés de photolithographie et d'emballage.