Occasion AXCELIS / FUSION 200 PC #9250798 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 PC est un équipement de lithographie automatisé, conçu pour fournir des capacités de fabrication de semi-conducteurs fiables avec une configuration et un fonctionnement flexibles. Le système a une conception Dual Chamber, avec deux chambres de processus indépendantes au sein d'une seule unité, une pour développer la résistance et une pour exposer et structurer la résistance. Cette caractéristique permet un haut débit de traitement de la résine photosensible et du substrat, sans sacrifier l'uniformité ou la précision du procédé. La conception à double chambre présente également l'avantage de réduire les risques de contamination croisée en empêchant le transfert de polluants chimiques ou d'autres contaminants d'une chambre à l'autre. FUSION 200 PC est capable d'effectuer une variété d'étapes de processus, y compris spincoat, cuire, aligner, exposer, cuire après exposition, développer, et rincer. L'unité dispose également d'une technologie avancée d'alignement automatisé, qui utilise l'optique pour positionner et cartographier les motifs sur les substrats. Cette technologie améliore la résolution et la précision tout en réduisant considérablement le temps d'entrée des utilisateurs. De plus, AXCELIS 200 PC intègre des capacités de manutention de plaquettes informatisées, permettant un transfert de substrat précis et un positionnement précis sur la phase de manutention du substrat de la machine, et réduisant le temps de transfert. 200 PC dispose d'un appareil photo à chambre d'imagerie reproductible, ainsi que d'un port de visualisation intégré, ce qui facilite l'alignement des substrats et des paramètres critiques. L'actif a une construction modulaire et une conception ergonomique pour améliorer l'accès et la mobilité des utilisateurs tout en améliorant la facilité de maintenance. AXCELIS/FUSION 200 PC dispose d'un modèle de contrôle des processus embarqué (OPCS) convivial qui permet une intégration transparente et une intégration complète des contrôles des processus des équipements. L'OPCS est conçu pour surveiller les paramètres du processus et minimiser l'intervention de l'utilisateur pendant le fonctionnement du système. FUSION 200 PC est capable de faire fonctionner de petites pièces, fournissant une unité globale augmentée de temps. La machine offre également une répétabilité et un débit élevé pour les plaquettes simples. De plus, sa technologie de manipulation automatisée des substrats réduit le temps d'installation manuelle tout en optimisant le rendement de l'outil. L'actif est bien adapté à la fois pour les prototypes et les applications de production à petite échelle.