Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038084 à vendre en France
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ID: 9038084
Taille de la plaquette: 8"
UV Photo stabilizer, 8"
Chamber / Bake
3 Axis robots
SMIF.
AXCELIS/FUSION 200 PCU (Process Control Unit) est un équipement d'exposition hautement avancé, entièrement programmable, à faible énergie, spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs avancés et d'autres composants électroniques. Il dispose d'une technologie de pointe de modélisation, de contrôle, d'optimisation et de vérification des processus qui fournit un contrôle maximal des processus et des résultats cohérents et reproductibles. FUSION 200 PCU utilise une architecture de processus à plusieurs niveaux comprenant la modélisation photorésistante, le contrôle des processus, le contrôle des machines et la vérification des performances. Cela permet de contrôler au maximum les variables de processus et les performances du système, ce qui permet d'obtenir les niveaux les plus élevés de contrôle et de répétabilité des processus. Il a été conçu avec un poste de travail ergonomique qui permet un accès facile à tous les composants de l'unité principale, y compris le processeur de l'ordinateur central, un grand moniteur de panneau plat et des périphériques d'entrée/sortie. Le panneau d'affichage est convivial et fournit des informations en temps réel sur les paramètres de processus et les données. La technologie de contrôle de processus unique d'AXCELIS 200PCU permet de contrôler et d'optimiser avec précision un large éventail de paramètres de processus, tels que la puissance de rayonnement, le débit de dose, le profilage du faisceau et la résolution. Il en résulte une imagerie nette, des résultats reproductibles et la capacité d'adapter la sortie de conception souhaitée. La technologie de vérification des performances fournit un niveau avancé d'assurance de la qualité en permettant le suivi des performances de la machine et des recettes de processus, tout en fournissant une rétroaction instantanée avec analyse en temps réel. Ceci est particulièrement intéressant dans la vérification de la fabrication de dispositifs submicroniques en ligne fine. AXCELIS/FUSION 200PCU dispose également d'une bibliothèque complète de recettes de bibliothèques photomasques qui simplifie la gestion et l'optimisation des expositions, ainsi que d'une bibliothèque complète de recettes de processus qui permet l'automatisation de processus multiples. Avec sa fonctionnalité complète, 200PCU est une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs avancés et d'autres composants électroniques.
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