Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9123076 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 PCU est un équipement d'exposition de haute précision conçu pour la lithographie et la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une précision et des débits améliorés, ainsi qu'une fiabilité et des performances améliorées. Le système fournit 200 W de puissance de source maximale et dispose d'une large gamme de longueurs d'onde, y compris EUV, F2, KrF, ArF, et i-line sources. L'unité est composée d'un module de photolithographie de précision (PPML) couplé à une machine de balayage de faisceau (BSS). Le PMML se compose d'une source de rayons X, d'aligner de masque, d'assemblage d'éclairage et d'outil d'acquisition de données. La source de rayons X est une source atomique à décharge de type thermionique qui délivre des électrons de haute énergie pour chauffer une cible. Cette cible convertit le rayonnement X en rayonnement ultraviolet, visible ou infrarouge. Le Masque Aligner permet un positionnement précis du masque dans le faisceau de rayons X. Son étage motorisé à cinq axes offre la souplesse nécessaire pour régler la position du masque en cinq degrés de liberté. L'ensemble d'éclairage contient des composants optiques, y compris des lentilles, des miroirs et des filtres, qui façonnent le faisceau, réduisent la distorsion thermique et contrôlent la distribution de l'énergie. L'actif d'acquisition de données recueille et stocke les données d'exposition directement à partir du capteur d'image. Le Beam Scanning Model (BSS) traite simultanément 200 plaquettes par exécution, offrant une grande personnalisation de l'exposition. Par exemple, les utilisateurs peuvent personnaliser la durée de l'impulsion laser, la forme et la vitesse du balayage, et le dosage avec une grande précision. Le BSS offre également un pré-scanner à vide (VPS) optionnel pour le pré-alignement des plaquettes et l'amélioration du débit de mesure. Le VPS est intégré à un algorithme de reconnaissance de motifs laser qui identifie les marques fiduciaires sur la plaquette avant exposition et corrige automatiquement les écarts par rapport aux spécifications. FUSION 200 PCU combine un alignement de précision avancé avec une précision de balayage supérieure pour une meilleure performance lithographique. L'équipement permet une exposition rapide, précise et fiable à des mises en page complexes et délicates, ce qui en fait un outil idéal pour des applications de lithographie critiques.