Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9182824 à vendre en France

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AXCELIS / FUSION 200 PCU
Vendu
ID: 9182824
Style Vintage: 2001
Microlite photostabilizer Software version: Ver 3.27 Process: Fusion bake CIM: Linked SMIF System: No Handler system: No Process chamber: No Wafer handler: (2) Platform with wafer tower sensor, 8" (3) Axes robot assembly (1) Operator interface: LCD Panel Process chamber: Thermochuck with lifter pin assembly Irradiator unit Accessories: High voltage power supply box 208V 2001 vintage.
AXCELIS/FUSION 200 PCU est un équipement d'exposition avancé pour accélérer le développement et la production de dispositifs dans un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système se compose d'un générateur de rayons X, d'une caméra d'imagerie, d'un ensemble de détecteurs et d'une électronique d'acquisition de données, ainsi que d'une foule d'autres sous-composants. Le générateur de rayons X produit un faisceau d'électrons de haute énergie qui est dirigé vers le matériau à exposer. Le faisceau de trons élec est ensuite acheminé à travers une série de masques de lithographie contenant chacun un motif de caractéristiques à imprimer sur le matériau du substrat. La caméra capture les motifs exposés qui en résultent et les stocke sous forme d'images numériques. Les détecteurs mesurent les niveaux d'exposition du matériau éclairé, tandis que l'électronique d'acquisition de données enregistre et stocke ces niveaux en mémoire. Ces données sont ensuite utilisées par l'unité pour générer des profils d'exposition qui peuvent être utilisés pour optimiser les paramètres d'exposition ou pour contrôler les paramètres du processus. FUSION 200 PCU est capable de supporter une gamme de paramètres de processus, ce qui le rend capable de produire des images très détaillées avec un bon niveau de contrôle d'exposition. La machine peut être utilisée pour prendre des expositions multiples de différents substrats et matériaux, permettant aux concepteurs de produire des motifs avec une gamme de tailles de fonctionnalités. Cela peut faciliter la réalisation de petites caractéristiques délicates, telles que des fenêtres de contact, sur un substrat. L'outil dispose également d'une gamme de caractéristiques de sécurité, telles que la surveillance automatique des limites d'exposition, qui peut assurer la protection des travailleurs et de l'environnement. En outre, l'actif dispose de la communication numérique Ethernet, permettant l'accès à distance et l'intégration avec d'autres systèmes. AXCELIS 200PCU est un modèle d'exposition fiable et très efficace, adapté à des applications de lithographie de haute précision dans un large éventail de contextes industriels et universitaires. Avec sa puissante caméra d'imagerie et sa gamme de paramètres, l'équipement fournit un excellent outil pour l'étude, le développement et la production d'une variété d'appareils.
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