Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231978 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 PCU est un équipement d'exposition conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Il s'agit d'un système performant qui peut être utilisé pour divers procédés de fabrication, y compris la lithographie à haute résolution, la bande photorésistante, l'activation et la gravure, la diffusion, la planarisation chimique et mécanique et la métrologie. L'unité offre une programmabilité polyvalente des paramètres d'exposition et une grande précision et répétabilité des résultats d'exposition. La machine offre également une excellente précision de placement de motif et des performances de débit élevées avec une variation minimale de l'intensité résiduelle. L'outil intègre un atout optique avancé qui comprend une lentille optique asphérique, un modèle d'alignement de masque et un équipement d'éclairage duo-source. Ceci offre une précision d'imagerie haute résolution avec des aberrations réduites, et un éclairage uniforme sur la surface de la plaquette. Le système dispose d'une imagerie à double champ avec éclairage double et uniforme, fournissant une imagerie haute résolution à haut débit. De plus, l'unité comprend trois paramètres d'exposition programmables, permettant à l'utilisateur d'adapter la machine à l'application et au processus cibles. L'outil est alimenté par un contrôleur avancé qui permet un contrôle et une surveillance précis de l'actif. Le contrôleur offre une compensation automatique température/humidité, permettant à l'opérateur de maintenir un environnement stable pour le modèle. De plus, le contrôleur intègre des paramètres programmables par l'utilisateur pour la précision du positionnement des bords des fonctions d'exposition, le facteur de surexposition kp et l'uniformité de dose. L'équipement est capable de travailler avec plusieurs médias et technologies, et la performance est optimisée en fonction des médias et des exigences de l'application. Le système a une conception avancée pour améliorer la fiabilité de l'unité, y compris le diagnostic en ligne et la maintenance de bas niveau. La machine est également disponible dans un certain nombre de configurations, permettant à l'utilisateur de personnaliser l'outil pour les besoins spécifiques de l'application. Pour garantir une performance optimale, une installation professionnelle et un entretien régulier sont recommandés. L'actif doit également être exploité conformément aux instructions du constructeur afin de garantir une performance et une fiabilité optimales. En outre, il est essentiel de stocker le modèle dans un environnement contrôlé par la température et l'humidité. Avec une utilisation correcte, FUSION 200 PCU fournira des résultats fiables et précis.