Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231979 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 PCU (Photonic Collimated Uniformity) est un équipement d'exposition avancé qui fournit des capacités de photolithographie de haute précision. Avec des fonctionnalités hautement personnalisables et automatisées et un logiciel convivial, FUSION 200 PCU permet un alignement, une exposition et un traitement rapides, efficaces et précis d'une large gamme de matériaux semi-conducteurs et photomasques. Ce système utilise une unité de calcul et d'alignement en deux étapes, avec un masque uniforme et des capacités d'éclairage sans aberration. La première étape est l'alignement de projection, qui utilise la combinaison de l'outil d'alignement d'image (IAT) et de l'outil d'alignement précis (PAT) pour obtenir l'alignement de précision des photomasques à 5 nanomètres près en x et en y dimensions. La deuxième étape est l'outil d'exposition, qui utilise l'Application Aligned Uniform Projection (AUP) pour exposer uniformément le matériau photomasque. AXCELIS 200PCU utilise également la technologie brevetée AQUA (Advanced Quasi-Phase-Shift Mask) pour assurer des niveaux d'intensité uniformes lors des étapes de lithographie critique du processus. Cela permet de garantir la couverture photorésistante pleine dimension, haut rendement, stabilisateur de processus sur tout matériau photomasque. AXCELIS 200 PCU dispose de quatre modes avancés d'alignement et d'exposition, permettant aux utilisateurs de s'adapter aux matériaux spécialisés de photomasque et aux processus de lithographie. Il s'agit notamment du mode E-RASTER, qui permet l'écriture automatisée du faisceau électronique, du mode standard et du mode statique. En outre, cette machine dispose également d'un « mode rapide », qui est conçu pour un débit maximum et plus rapide que les temps de cycle standard de l'industrie pour les photomasques de 0,5 à 12,5 um de taille. Pour l'imagerie et le contrôle optique, 200 PCU utilisent un ensemble optique qui utilise une source lumineuse télécentrique active et numérique, ce qui offre aux utilisateurs une plus grande flexibilité, stabilité et précision. Cet outil est également équipé d'un actif de reconnaissance de motifs haute résolution capable de localiser les motifs de masquage les plus difficiles. En outre, FUSION 200PCU peut être utilisé en configuration verticale et horizontale. Enfin, 200PCU offre trois fonctions avancées de traitement post-exposition pour garantir des résultats de traitement précis et fiables. Ceux-ci comprennent : le nettoyage du substrat, le chargement/déchargement, et le découpage des bords. Toutes ces fonctions sont entièrement automatisées et peuvent être utilisées simultanément, ce qui signifie que les photomasques peuvent être traités rapidement et avec peu d'intervention de l'opérateur. AXCELIS/FUSION 200PCU est un modèle d'exposition avancé qui offre un haut niveau de précision, de précision et de flexibilité pour la fabrication de semi-conducteurs et de photomasques. Avec ses fonctionnalités puissantes, les utilisateurs peuvent atteindre des temps de cycle rapides, un alignement et une exposition très précis, et un post-traitement précis pour des résultats de haute qualité.