Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235771 à vendre en France

AXCELIS / FUSION 200 PCU
ID: 9235771
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Photo stabilizer, 8" 1997 vintage.
AXCELIS/FUSION 200 PCU est un équipement d'exposition avancé conçu pour le traitement d'une variété de matériaux pour une variété d'industries. Le système dispose d'une grande chambre conçue pour améliorer le transfert de chaleur, fournir une couverture uniforme des plaquettes, et permettre de longues courses avec un minimum d'entretien. L'unité est compatible avec une variété de substrats dont le silicium, le nitrure de gallium, le diamant, le quartz, et bien d'autres. La machine comprend un gestionnaire de Wafer, un casier de chargement compact et une source de rayons X de 200 watts. Le scanner ultra haute précision assure une imagerie précise de vos appareils et un contrôle total des processus, jusqu'à une résolution de 5 nm. Une source de rayons X à cible froide unique et révolutionnaire utilise un réseau dispersif d'énergie avancé qui projette avec précision un spectre accordable électriquement à la surface de la plaquette. L'outil comprend également une source hyperfréquence, fournissant une cuisson rapide et uniforme sur l'ensemble de la plaquette pour de nombreux processus, y compris CVD et diffusion. Le robot obturateur hydraulique intégré permet de réduire le temps de manutention des plaquettes à moins d'une minute. Le robot prend également des mesures de nettoyage de l'air de la chambre et les envoie dans une salle blanche séparée, réduisant ainsi la contamination par les particules et l'humidité. Le modèle fournit une gamme complète de paramètres de processus pour une variété de processus, y compris la lithographie, le recuit à haute température, la gravure humide et le dépôt de métal. Le logiciel de contrôle des processus surveille, coordonne et guide tous les composants de l'équipement, assurant ainsi des résultats cohérents. Le logiciel offre également une excellente flexibilité pour les processus personnalisés et les outils logiciels pour faciliter les recettes personnalisées. Le système est également équipé d'une variété de dispositifs de sécurité, y compris des moniteurs de pression d'air, des moniteurs de vide, des détecteurs de gaz, des capteurs de particules, des détecteurs ESD et des dispositifs de détection d'arc. L'unité est conçue pour minimiser l'exposition aux matières dangereuses, le risque d'exposition aux rayonnements et le risque de choc électrique. Il est également conçu pour assurer la protection contre les radioprotections en ce qui concerne le 810-2007. La machine est très polyvalente et peut être utilisée dans un large éventail d'industries, y compris la microélectronique, l'optoélectronique, le médical, l'automatisation et l'aérospatiale. La qualité et la conception de sécurité garantissent que vous obtenez des résultats cohérents et fiables de vos processus. Avec son large éventail de caractéristiques et d'applications, FUSION 200 PCU est un excellent choix pour les besoins d'exposition les plus avancés.
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