Occasion AXCELIS / FUSION 200 PCU #9258173 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 PCU (Photomask Creation Unit) est un équipement de lithographie avancé de haute précision conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour exposer les plaquettes semi-conductrices à la lumière ultraviolette (UV) avec une précision et une répétabilité extrêmes, satisfaisant ainsi les exigences pour la fabrication de dispositifs de haute qualité, de haut rendement et de grand volume. FUSION 200 PCU est équipé d'un Stepper Direct-Drive haute précision avec précision Sub-Micron (DDSSA) qui permet un traitement extrêmement précis des plaquettes semi-conductrices exposées. Le stepper comprend un sous-système d'alignement optique haute résolution très précis pour assurer le placement précis des masques d'exposition sur la plaquette. Le système comprend également une fonction de longueur de chemin optique atténuée (AOPL) qui permet une exposition indépendante de différentes régions de la plaquette. AXCELIS 200PCU comprend également une unité d'enregistrement avancée qui garantit que chaque puce exposée est dans la bonne position par rapport aux autres puces, ainsi qu'une perforation d'exposition à double bord et une pince qui améliore encore la précision des expositions. Cela garantit que l'intensité d'exposition est uniforme sur l'ensemble de l'image, comme requis pour la lithographie de haute précision. Pour assurer la compatibilité avec différents types de masques d'exposition, l'outil est équipé d'un réseau de filtres pour supporter l'exposition de différentes couches photosensibles et dopées de plaquettes semi-conductrices. Pour la lithographie de très petites caractéristiques, l'actif comprend également une autre technique d'exposition, le modèle de la lithographie de tunnel de balayage (STL), où l'exposition est effectuée avec une sonde de balayage locale basculée avec un réseau d'émetteurs. 200 PCU utilise plusieurs dispositifs de sécurité pour minimiser l'exposition accidentelle aux rayonnements. Il s'agit notamment de rideaux de sécurité optiques, d'un équipement d'interception étroitement surveillé et d'un chronomètre d'exposition analogique à réglage automatique. Le système comprend également une unité de compensation auto-réfléchissante qui ajuste l'intensité de l'exposition en conséquence. Enfin, pour répondre aux exigences difficiles de la fabrication d'appareils à haut volume, AXCELIS 200 PCU comprend une interface de données à haut débit qui permet la programmation de la machine à distance. Cela permet d'exécuter des séquences d'imagerie complexes de manière complètement automatisée. En résumé, AXCELIS/FUSION 200PCU est un outil de lithographie avancé conçu pour répondre aux exigences exigeantes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute précision et de grand volume. Cet atout est équipé d'un DDSSA de haute précision et d'un modèle de surveillance étroite, ainsi que d'un ensemble de filtres, d'un équipement STL et d'une interface de données haute vitesse pour programmer le système à distance. Les différentes caractéristiques garantissent la précision et l'uniformité de l'exposition ainsi qu'un haut niveau de sécurité opérationnelle.