Occasion AXCELIS / FUSION 200 #293639952 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 est un équipement d'exposition avancé conçu pour optimiser la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération. Ce système intègre les dernières technologies pour fournir un débit, une précision et une répétabilité supérieures. FUSION 200 est une unité interactive et conviviale qui offre une large gamme de fonctionnalités, ce qui en fait un excellent choix pour des environnements de production de haut volume et de haute précision. AXCELIS 200 dispose d'un étage de wafer haute résolution, d'un scanner ultra haute précision et d'un outil à faisceau d'électrons pulsé de grande puissance. L'étage de plaquettes, qui est une conception avancée spécifiquement construite pour l'alignement rapide et précis des substrats, est capable de déplacer des substrats jusqu'à 380mm (15 po) de diamètre. Ses composants principaux sont un mandrin à vide, deux bras porte-avions et deux étages piézoélectriques X-Y-Z motorisés. Le scanner est un outil de nettoyage et de métrologie multi-axes qui permet l'alignement précis des substrats sur le faisceau d'électrons. Il dispose d'une machine d'entraînement vectoriel à grande vitesse et d'un algorithme unique d'optimisation de la taille du scanner. L'outil de faisceau d'électrons est capable de pulser des faisceaux d'électrons jusqu'à 150 keV et des énergies à faible intensité et est équipé d'un outil de gestion thermique pour optimiser sa durée de vie. 200 offre également un large éventail de capacités de contrôle, de surveillance et d'optimisation des processus. Le logiciel SCORPION permet de contrôler l'ensemble du processus de fabrication, du chargement initial des plaquettes à l'imagerie lithographique et à l'intégration des processus. L'acquisition et l'analyse de données analytiques sont facilitées par la suite de capteurs de processus embarqués. Une interface graphique personnalisable et un écran tactile LCD couleur permettent à l'opérateur de surveiller et de contrôler facilement l'actif. Ces outils permettent d'assurer le plus haut rendement économique possible. AXCELIS/FUSION 200 est conçu pour offrir une disponibilité maximale, avec une plate-forme de joint de base conçue pour réduire les effets des temps d'arrêt dus à la contamination des particules. En outre, il dispose d'un cycle de nettoyage avancé et programmable, d'une plate-forme de plaque de refroidissement, de ports de chargement/déchargement et d'un modèle moderne à double faisceau de sécurité. L'équipement est également équipé d'une architecture open-system qui permet une intégration transparente avec d'autres systèmes. Dans l'ensemble, FUSION 200 est une unité efficace, fiable et conviviale qui peut aider à maximiser le débit tout en assurant la précision et la répétabilité. La conception innovante de la machine est combinée aux dernières technologies pour fournir aux fabricants l'outil ultime pour leurs besoins avancés en lithographie.