Occasion AXCELIS / FUSION DRS-10 / 12QN #293645766 à vendre en France

AXCELIS/FUSION DRS-10/ 12QN est un équipement d'exposition de pointe développé pour permettre une large gamme d'applications de photolithographie. Ce système est construit sur une plate-forme unique intégrée de lithographie et de composants optiques, avec un large éventail de technologies favorisant les processus. FUSION DRS-10/ 12QN combine les dernières avancées de l'optique et du contrôle du mouvement, offrant des performances et une flexibilité supérieures pour une exposition unique des plaquettes double face. L'unité comprend un scanneur monté sur portique pour accueillir diverses tailles de plaquettes et substrats. Un ensemble en quartz actable offre des performances de processus de balayage uniformes, ainsi que des performances de cycle de vie améliorées. L'outil de balayage très répétitif et à faible bruit, associé à une étape de réglage photo protégée par quartz et à une étape de post-exposition auto-alignée, permet un positionnement et un enregistrement précis. L'interféromètre laser de 10nm assure la précision de cet enregistrement en surveillant le positionnement de la chaîne de balayage avant et pendant l'exposition. Les systèmes de haute précision de scanner laser et de générateur de motifs permettent une fidélité de motif avec un contrôle précis de la température et une excellente uniformité sur l'ensemble de la plaquette. Le haut débit de l'actif est atteint par une combinaison de réponse servo rapide, contrôle précis, et algorithmes logiciels sophistiqués. Le modèle dispose d'un équipement d'alignement optique automatisé, qui utilise deux interféromètres auto pour un alignement précis qui est très reproductible sur les tailles des plaquettes. AXCELIS DRS-10/ 12QN utilise un système supérieur d'isolation thermique des portes d'obturation qui assure un contrôle précis de la température et la répétabilité des paramètres. L'unité dispose également d'une gamme de composants optionnels, de la surveillance à distance des mandrins aux systèmes avancés de développement de montres douces/recettes. Le logiciel puissant permet à ses utilisateurs de concevoir une large gamme de configurations optiques complexes. En résumé, DRS-10/ 12QN fournit des performances d'exposition aux plaquettes double face de pointe. Sa gamme de fonctionnalités et de composants avancés offre une flexibilité opérationnelle inégalée et un débit élevé. Ses progiciels intégrés et ses outils de traitement en font un excellent choix pour toute application de photolithographie.